GCI E84串并转换控制器(SPC)是300mm设备制造商实现SEMI E84标准通信的即用型解决方案。其内置装载/卸载算法,为以下设备提供完美的E84通信支持:
工艺设备
晶圆存储系统
装载端口
FOUP缓冲站
智能存储货架
模拟装载端口
核心特性
▸ 通过标准串行通信接口轻松集成至设备控制器
▸ 自动执行全握手流程(含错误检测与报告)
▸ 可选独立控制器模式(支持位置/存在传感器输入)
▸ 挤压铝制外壳(可选无外壳版本,适配3英寸导轨安装)
接口配置
AMP 3mm Micro MATE-N-LOK连接器(2个):
• RS232接口(发送/接收/地线)
• 6路辅助输入(装载端口传感器/光幕/自定义输入)
• 1路辅助输出
• 系统电源DB-25母头接口:
• 符合被动E84 PI/O标准(连接AMHS或光模块)
• 提供16路光隔离I/O信号+3路预留光模块信号(Select/Mode/Go)
• 每路PI/O信号配备LED状态指示灯
• 提供+24V光模块供电
控制方式
自动模式:通过基于ASCII指令集的API实现最小化主机干预
手动模式:支持主机单独控制/监控各PI/O信号
电气参数
• 供电:+18-30 VDC,200mA