三轴加速度计测试工具（振动测试仪）
FOUP内安装示意图
AMHS及传送带制造商采用三轴加速度计测试工具，用于系统开发、安装及维护阶段的振动特性量化评估。作为行业标准设备，该工具被200mm/300mm晶圆厂广泛用于测量物料搬运系统诱发的晶圆振动，通过早期识别轨道错位征兆，最大限度降低晶圆振动风险。测试仪可独立运行，也可搭配GCI信息中心实现带AMHS定位数据的自动记录。
核心功能
▸ 为AMHS供应商及终端用户提供精密振动测量方案
▸ 同步采集XYZ三轴振动数据（支持自动/手动运输模式）
▸ 电池供电一体化设计，含300mm FOUP专用适配板（200mm晶圆盒需选配安装板）
▸ 配备LCD显示屏及按键用于参数配置
数据处理
实时板载运算：
• 每轴512点/秒采样率
• 支持RMS/峰值/峰值频率/真有效值等算法
• 基于FFT的0.5秒间隔处理（每轴每秒生成2个精简数据点）
• 持续记录时间2-6小时（视算法类型而定）时域记录选件：
• 直接存储原始时域数据（每轴512点/秒）
• 最大记录时长6小时（取决于SD卡容量）
分析软件
VibPlot分析套件：
• 时域/频域数据可视化
• 三维瀑布图与彩色声谱图
• 支持半秒间隔FFT分析InfoCenter桌面应用：
• 集成VibPlot全部功能
• 新增板载精简数据上传解析
技术参数
| 维度 | XYZ三轴 |
|---|---|
| 测量范围 | 0.03g-2.00g(±0.01g) |
| 频率响应 | DC-150Hz |
| 电源系统 | 锂离子电池组（带10年静态RAM备份） |
| 数据接口 | RS-232/SD卡槽 |
标准配置
主机（含300mm适配板）
振动分析软件授权
测试报告模板及操作手册
