GCI E84模拟器是全球领先的测试工具,用于开发、实施和鉴定必须符合SEMI® E84™标准的产品。它提供了一种行业标准的自动化测试方案,全球每一家300毫米晶圆厂和设备制造商都在使用。GCI E84模拟器是唯一能够确保300毫米工厂自动化互操作性的解决方案。
E84模拟器为测试主动和被动实体的并行输入/输出(PI/O)控制信号提供自动化程序。SEMI® E84™ 定义了晶圆制造设施中自动化物料搬运系统(AMHS)与生产设备之间传输过程中使用的控制信号。
E84模拟器通过USB连接与基于微软® Windows系统的笔记本电脑或台式计算机相连。E84模拟器应用程序与Windows XP、7和10系统兼容。
提供了一个图形用户界面(GUI),支持主动和被动仿真的自动和手动测试模式。在自动测试模式下,输入操作员姓名、测试日期和设备信息等数据。
主动模式测试套件用于验证工艺设备E84接口的运行情况。共有20项主动模式测试,操作人员可单独启用或禁用。此外,还有一套类似的被动模式测试套件,用于测试输送系统。
提供主动模式静态测试,要求操作人员验证每个装载端口是否都有一个带标签的DB – 25插头,并且错误恢复文档是否可用。所需DB – 25连接器的标签和位置图可选择显示。
主动模式功能测试用于验证单一切换加载和卸载周期。多项测试用于验证设备是否正确处理“切换可用”问题。提供了五项测试,以强制触发五种标准的TP超时错误中的每一种。四项测试用于验证被动设备端口传感器的行为。其他测试用于验证紧急停止处理以及所需的E84 +24V电源电压。各种测试的控制信号时序图可选择显示。
在自动测试模式下,测试计划和结果可选择保存。保存的文件包括一个为打印而格式化的ASCII文本文件。此文本文件包含操作员输入的所有设备信息,以及由E84模拟器应用程序提供的关于每次测试的信息。测试详情包括测试标题、结果、故障信息以及用户在测试期间输入的任何注释。已保存的测试计划也可被调用以恢复测试。
手动测试模式提供一个菜单,用户可以通过该菜单切换并行输出信号的状态,同时持续显示并行输入信号的状态。