Get Control/GCI代理,E84 DLD数据记录设备,半导体设备测试,SEMI® E84 PI/O 通信接口,用于晶圆盒传送
工厂自动化在 300mm 半导体制造工厂中被广泛应用。
300mm 工艺设备使用带有标准 E84 电气接口的标准化装载端口(Load Port),以便与自动物料搬运系统(AMHS)进行物料的传送。
GCI 的 E84 DLD(数据记录设备,Data Logging Device) 提供了一种紧凑的解决方案,可以 非侵入式地监控和记录 与 300mm 物料交接操作相关的 E84 握手信号。
结合 GCI 的 数据记录应用程序(Data Recorder Application),GCI E84 DLD 成为一种不可或缺的工具,用于 捕获、分析和解决 E84 交接问题,而不会中断生产流程。
特点:
直接连接在设备与光学收发器之间
无需外部电源
非侵入式感应 E84 接口信号
记录最近 50 次交接操作至非易失性存储器
所有记录数据均带有时间和日期戳记
支持将记录数据上传至 PC 和 GCI E84 手持测试仪
支持循环记录(覆盖旧数据)或在存储满时停止记录
支持在 GCI E84 手持测试仪和 PC 上进行实时图形显示
兼容 GCI E84 数据分析软件
可选诊断过滤功能,仅记录失败的交接操作
可选仅记录第一次有效的装载/卸载,之后只记录失败事件
统计记录成功与失败交接次数
GCI E84 DLD 的安装:
断开光学收发器的 DB-25 接头与设备顶部接口的连接。
将 DLD 上标有 Load Port(装载端口) 的 DB-25 插入设备的 DB-25 接口。
然后,将光学收发器的 DB-25 插入 DLD 上标有 Optical Transceiver(光学收发器) 的 DB-25 接口。
使用串行电缆将 DLD 与 PC 或 GCI E84 手持测试仪相连,并对 DLD 进行配置。
配置完成后,即可将 PC 或手持测试仪从 DLD 上断开。
DLD 会立即开始记录所有 E84 事务。记录的事务可在任何时间通过连接 PC 或手持测试仪到 DLD 的串口进行上传。
此外,您还可以使用 PC 或手持测试仪实时监控信号,而不会中断交接操作。

GCI E84 DLD 连接在收发器与设备之间
错误分析
使用 Error Analysis(错误分析) 功能,可快速定位数据集中发生故障的交接操作。E84 数据记录应用会显示详细的错误信息,说明检测到的错误。同时,它还提供一个表格形式的时序细节,显示获取的信号状态与预期信号状态的对比。
DLD 配置
Playback Analysis Mode(回放分析模式) 功能强大且易于使用。最初,整个记录的数据集会在回放分析模式的图形窗口中以时序图显示。
通过交互式诊断、缩放、滚动和搜索功能,您可以快速定位并查看记录数据的每一个细节。系统还提供带时间戳的信号状态变化表以供参考。
DLD 接口菜单 提供 DLD 选项的配置、设置当前时间和日期,以及重置 DLD 的非易失性存储器。
功能说明
滚动 (PAN)
使用 Playback Scroll(回放滚动) 功能在记录数据中前后浏览。单个滚动条提供三种滚动方式:快速滚动、精细滚动和超精细滚动。搜索 (SEARCH)
使用 Transition Search Tool(信号跃变搜索工具) 搜索特定信号的事件。在回放分析模式图形窗口中,可定位当前信号的下一个或上一个跃变。缩放 (ZOOM)
使用 Graph Zoom Tool(图形缩放工具) 聚焦时序图的特定区域。只需在时序图上绘制一个矩形即可放大感兴趣区域。点击 Zoom Full(全图缩放) 按钮,可重新显示整个记录数据集。测量 (MEASURE)
使用 Delta Signal Measurement Tool(信号增量测量工具) 测量任意两次信号跃变之间的时间。可测量同一信号或不同信号之间的时间差。保存与导出 (SAVE AND EXPORT DATA)
保存数据以便后续分析。提供四种导出选项,可用于打印或与其他应用共享(如文字处理软件或电子表格)。使用 Export Data to Text File 可创建格式化 ASCII 文本文件。
使用 Export Graph as Metafile 可导出图形为标准或增强的 Windows 元文件格式。
使用 Export Graph as Bitmap 可生成当前显示图形的位图文件。
包装内容与规格 (PACKAGE CONTENTS & SPECIFICATIONS)
GCI E84 DLD(数据记录设备)
E84 数据记录应用程序 CD-ROM
6 英尺公对母 DB-9 电缆
电源 +24V @ 10mA(由 E84 +24V 电源提供)
RS-232 串行通信接口
19 个输入通道
1 kHz 采样率
尺寸:3.8″ x 2.1″ x 0.8″(96.5mm x 53.3mm x 20.3mm)
DB-25 公(主动)和 DB-25 母(被动)接口
嵌入式解决方案
笔记本电脑或台式电脑
操作系统:Windows 98、NT 4.0、2000 或 XP
串口或 USB 转串口转换器
硬盘空间:40 MB