美国Get Control—三轴加速度计测试工具

AMHS(自动物料搬运系统)和输送设备制造商使用三轴加速度计测试工具,在系统的开发、安装和维护过程中对其振动特性进行量化和评估。这款工具已成为业界标准,被用于200mm和300mm晶圆厂,用以测量其物料搬运系统对晶圆批次所产生的振动。

通过及早检测轨道错位的迹象,可以对系统进行维护,从而将施加在晶圆批次上的振动降到最小。该三轴加速度计测试工具既可独立使用,也可与GCI信息中心配合,借助AMHS车辆提供的位置信息,实现自动记录和追踪

GCI 的三轴加速度计测试工具为 AMHS 供应商和 最终用户。该工具同时采集并记录 X、Y 和 Z 轴上的振动数据 自动或手动运输。

三轴加速度计测试工具由电池供电且自成一体。包括转接板 将工具刚性安装在 300 毫米 FOUP 内。对于 200 mm 应用,可以订购可选的安装板 将工具刚性安装在 200 毫米晶圆支架内。LCD 显示屏和键盘提供配置访问 选项。

板载数据缩减

三轴加速度计测试工具每秒执行 512 个数据点的实时板载数据缩减 在每个轴上。提供了多个数据缩减选项,包括 RMS、Peak、Frequency at Peak 和 True RMS。 板载数据缩减以半秒的间隔执行(使用 FFT),每 每个缩减类型的每个轴 second。录制容量受减少类型限制(最长 2 到 6 小时)。

减少的数据存储在内部 SD 卡上。在上传到 PC 之前,可以存储多个录制会话 进行分析。提供 RS-232 端口,用于使用 InfoCenter 桌面应用程序上传数据(请联系 GCI)。

时域录制选项

三轴加速度计测试工具可以选择配置时域记录选项,将时域数据记录到安全数字存储卡中。使用此选项,Tri-Axial Accelerometer (三轴加速度计) 测试工具每秒将 512 个时域数据点/秒直接记录到已安装的 SD 卡上。 录制容量受 SD 卡可用空间的限制(最长 6 小时)。数据缩减是 在 PC 上使用 GCI 的 VibPlot 或 InfoCenter Desktop 应用程序提供。

VibPlot 分析应用程序

VibPlot 屏幕截图

VibPlot 提供了对记录的时间进行频率分析的工具 domain 数据。VibPlot 复制了三轴加速度计中提供的板载数据缩减 Test Tool 的 API API 中的其他 API API 的 API API 中,还提供了额外的分析功能,例如三个 维度瀑布图和颜色频谱图。时域数据可以是 显示,以及缩减数据(RMS、峰值、真 RMS)和 FFT 的图表 每 1/2 秒间隔的结果。

InfoCenter 桌面应用程序

InfoCenter 桌面应用程序在更新的 应用程序,该应用程序还可以上传和显示板载缩减的数据集。

特征

  • X、Y 和 Z

测量

  • 频率 DC 至 150Hz
  • 振动 0.03g 至 2.00g (±0.01g)

电池/充电器

  • 可充电 LIMH 电池组
  • 先进的电池充电电路
  • 锂电池提供静态 RAM 备份 – 使用寿命长达 10 年(运行时间)
  • 带警告指示灯的低电量感应。

数据分析类型

  • RMS
  • RMS 和峰值
  • RMS、峰值和频率
  • RMS、峰值、频率、真 RMS 和 N

加速度计测试工具

用户界面

  • 2 × 16 字符 LCD
  • 4 键键盘

Flash PROM

  • 存储系统固件
  • 使用 GCI 的固件文件轻松升级

内置 microSD 卡

  • 存储录制会话
  • 存储容量允许数百个(取决于录制长度)单独的带时间戳的录制会话

RS-232 接口

  • 提供一个 RS-232 端口,用于将记录的数据下载到主机 PC。

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