代理Get Control E84手持式测试仪，半导体设备测试，SEMI E84 PI/O 通信，配备 SD 卡接口存储测试数据，用于300mm晶圆厂
美国 GCI 的 E84 手持测试仪 (Handheld Tester, HHT) 是用于 E84 维护、故障排查和安装应用的便携式解决方案。它将实时信号显示、电压与电流测量以及测试结果存储集成在一个易于操作的仪器中。使用 E84 手持测试仪，您可以快速找出 E84 接口问题的根源。
由于 E84 I/O 信号数量众多且采用开路集电极逻辑，使用标准万用表测量无法提供足够的细节来判断故障原因。引起 E84 接口问题的信号异常最好通过 HHT 提供的模拟电压和电流测量来检查。
HHT 配备 SD 卡接口 用于测试数据存储，这一接口方便结果存档，并简化了将测试数据传输到电脑进行详细分析的流程。
此外，HHT 还集成了 GCI E84 仿真器提供的行业标准 E84 测试套件。操作人员可以在故障排查环境中运行与工具验收测试中相同的一系列测试，从而快速定位和解决问题。
E84 手持测试仪特点
菜单驱动界面
内置红外收发器（IR Transceiver）
支持外接红外收发器
显示每个 E84 信号的电压和电流
自动执行主动与被动负载及卸载测试
手动控制每个 E84 输出并监控 I/O
自动红外收发器测试
与 GCI E84 DLD 连接时实时显示信号
内置 GCI E84 模拟器测试套件
将测试结果保存至 SD 卡
可根据工艺工具 ID 整理测试结果
将 GCI E84 DLD 的数据上传至 SD 卡
轻松将保存的数据和 DLD 记录数据传输至 PC
可使用 GCI E84 分析应用程序分析数据
内置时钟和日历
可充电电池
规格
内置符合 E84 标准的红外收发器
支持主动与被动电气 E84 接口
DB-25 公头（主动）和 DB-25 母头（被动）接口
自带可充电电池
SD 卡接口
外形尺寸：9.3″ x 4.9″ x 1.6″（236 mm x 125 mm x 41 mm）
固件可通过 PC 和互联网升级
包装内容
GCI E84 手持测试仪
15 英尺 DB-25 公母连接线
+15 VDC 电源适配器（100-240 VAC）
GCI 手持测试仪用户指南
加载/卸载测试
使用内部红外（IR）执行装载和卸载测试以重现 E84 故障。或者，如果 IR 通讯距离超过内部 IR 的一米范围，可使用外部 IR 设备。E84 手持测试仪在交接操作进行时会实时绘制 E84 信号。它会提示装入 FOUP（装载）或移除 FOUP（卸载），并同时显示倒计时计时器。存储到 SD 闪存卡的测试结果包括测试设置详情（TA 和 TP 定时器设置、循环类型）、测试完成状态以及实时图表。使用 E84 分析应用程序可对时间曲线进行详细分析。
光收发器测试
将光收发器连接到手持测试仪，并执行红外（IR）收发器测试，以将 E84 故障定位到收发器本身或工艺工具。红外收发器测试会独立验证每个光收发器信号，并生成汇总报告。每个信号的电压和电流测量值也可以显示，包括开（On）和关（Off）状态下的数值。
故障分析包括：
信号之间短路的测试
信号与地之间短路的测试
开路信号的测试
存储到 SD 卡的测试结果包括所有电压和电流测量值、模式测试结果，以及故障分析的错误信息，均以格式化文本文件形式保存。
测试结果组织方式
存储在 SD 卡上的测试结果按工艺设备 ID 进行整理。每台工艺设备都有一个 8 个字符的 ID 标签。可以输入详细的工艺设备信息以识别单个设备。工艺设备 ID 和信息记录可以在 PC 上使用标准文本编辑器（如记事本 Notepad）创建或编辑。在 FAB（半导体工厂）中，也可以通过 E84 手持测试仪的软键界面创建新的设备 ID 标签。测试结果可通过 SD 卡轻松传输到 PC。测试结果以单独文件的形式组织在标准的 Windows 文件夹结构中。大多数结果文件可使用文本编辑器打开，或导入文字处理软件生成报告。一些文件（如循环测试、手动控制条形图）可使用 GCI 的 E84 分析应用程序查看。
