三轴加速度计测试工具（Vib Tool）
安装在FOUP中的加速度计测试工具
AMHS和输送设备制造商在系统开发、安装和维护过程中，利用三轴加速度计测试工具来量化和评估振动特性。这款行业标准工具被200mm和300mm晶圆厂广泛用于测量物料搬运系统对晶圆批次产生的振动。通过及早发现轨道对准偏差的迹象，系统可以得到及时维护，从而最大限度地减少对晶圆批次造成的振动。三轴加速度计测试工具可作为独立设备使用，也可与GCI信息中心配套使用，由AMHS小车提供位置数据，实现自动记录。
GCI的三轴加速度计测试工具为AMHS供应商和终端用户提供精确的振动测量解决方案。该工具可在自动或手动运输过程中，同时获取并记录X、Y、Z三个轴向的振动数据。
产品特点：
独立供电与自包含设计：
三轴加速度计测试工具由电池供电，具有独立完整的系统设计。标配适配板可将工具牢固地安装在300mm FOUP内部。对于200mm应用，可选购安装板，将工具牢固安装在200mm晶圆盒中。LCD显示屏与键盘可用于参数配置。板载数据简化处理：
工具以每轴每秒512个数据点的速率进行实时板载数据简化处理。提供多种数据简化选项，包括RMS、峰值、峰值频率和真RMS。使用快速傅里叶变换（FFT），每半秒进行一次简化，生成每种类型每轴每秒两个简化数据点。记录时长取决于简化类型（最大可达2至6小时）。数据存储与上传：
简化数据存储在内部SD卡中，可存储多个记录会话，在上传至PC进行分析前进行本地保存。配有一个RS-232端口，可通过GCI的InfoCenter桌面应用程序上传数据。
时间域记录选项
三轴加速度计测试工具可选配“时间域记录”功能，将时间域数据记录到安全数字（SD）存储卡中。开启此功能后，工具会以每秒每轴512个数据点的速率将时间域数据直接写入SD卡。记录容量受SD卡剩余空间限制，最长可达6小时。数据简化处理在PC端完成，使用GCI的VibPlot或InfoCenter桌面应用程序进行分析。
VibPlot分析软件
VibPlot提供对记录的时间域数据进行频率分析的工具。它不仅复制了设备本身的数据简化处理功能，还增加了如三维瀑布图和彩色频谱图等附加分析功能。软件可显示时间域数据，同时绘制RMS、峰值、真RMS及每0.5秒的FFT结果图。
InfoCenter桌面应用程序
InfoCenter桌面应用程序提供与VibPlot相同的分析工具，是一款更新版本的软件，同时支持上传与显示设备本身的简化数据。
技术规格概览：
测量轴向：X、Y、Z三轴
测量频率范围：直流至150Hz
振动测量范围：0.03g至2.00g（精度±0.01g）
电池与充电：
可充电LIMH电池组
先进的电池充电电路
锂电池支持静态RAM备份（最长达10年）
低电量检测与警告指示
数据分析类型：
RMS
峰值
RMS与峰值
RMS、峰值与频率
RMS、峰值、频率、真RMS和N值
用户界面：
2行16字符LCD显示
4键按键板
Flash PROM：
存储系统固件，可通过GCI提供的固件文件轻松升级
内部microSD卡：
存储多个记录会话（数量取决于记录时长），每个会话带时间戳
RS-232接口：
用于将记录数据下载至主机PC的RS-232通信端口
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