E84 监控系统(E84 Monitoring System)
EMS 系统框图(EMS Block Diagram)
GCI 的 E84 PI/O 监控系统(EMS)可同时对两个至四个 300mm 装载口的 E84 PI/O 信号转换进行实时监控与存储。
在晶圆厂(FAB)中,所有物料的交接过程都由 E84 握手协议控制。确定物料交接失败的原因及其修复方法,是 FAB 中最耗时且成本高昂的故障排查任务之一。对 E84 控制信号的详细分析对于查明交接失败的根本原因至关重要。
GCI EMS 系统可根据配置,对两个至四个装载口的 E84 信号状态进行持续显示与记录。记录的数据按日期存储为日志文件,便于查找特定的交接记录。强大的搜索功能允许操作员在指定时间范围内快速列出某一装载口的所有失败交接记录。
系统功能
实时显示两个至四个装载口的 E84 信号转换状态
将 E84 信号转换记录保存为每日日志文件
功能强大的日志搜索工具,可查找特定 E84 交接序列的时序信息
可对每次交接序列进行详细时序分析,并显示区域总结(Zone Summary)
日志文件回放分析模式
错误分析模式,用于在日志中定位失败的交接序列
测量时间间隔分析工具
缩放显示分析工具
图形界面可导出为 Windows 位图格式
记录数据可导出为表格文本格式
当 PC 通信中断时,E84 事件仍会记录在 DLD(数据记录设备)中由电池供电的 RAM 中
EMS 实时显示界面
可实时查看 E84 信号转换状态。默认 EMS 界面显示两个至四个装载口的所有 E84 信号电平。系统还可设置在某装载口不再可用于交接(HO_AVBL 信号关闭)时自动暂停实时显示。
EMS 搜索窗口
通过“日志搜索”功能查找特定的 E84 交接记录。可按日期与时间范围、指定装载口、交接类型(成功或失败)进行筛选,并显示符合条件的 E84 交接记录列表。选择某条交接记录后,点击“详细信息”按钮可进入详细交接状态显示界面(如下)。
EMS 详细状态图
通过“日志搜索”功能选择某一 E84 交接序列后,系统将显示其完整的时序信息。界面中可查看所有与该交接相关的 E84 事件,并在时序图上标出 E84-0304 标准中定义的各个边界区域(Boundary Zones)。界面右侧提供边界区域摘要(Zone Summary),包括每个区域的起始时间戳与持续时间。此外,还可使用“采样测量”工具进行进一步时序分析。
系统组件
一台预装并配置好 E84 监控系统应用软件的 Windows XP 专业版笔记本电脑
每个配置的装载口(共 2~4 个)配备以下设备:
一台 GCI 数据记录设备(DLD,型号 P/N GCI06001)
一根 5 米 GCI E84 光学收发器(型号 P/N GCI04002-5m)
一根 15 英尺 9 针串口通信线缆(型号 P/N GC72802015)
一根 USB 转串口转换线(型号 P/N SW-1301)
一根 PC 防盗钢缆(型号 P/N 2900-95)
一只 USB 鼠标(型号 X800898)
一份打印版用户手册
一张安装软件备份光盘(CD-ROM)
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