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E84 仿真器——现已兼容 Windows 10!

GCI E84 仿真器
GCI E84 仿真器是全球领先的测试设备,用于开发、实施和认证必须符合 SEMI® E84™ 标准的产品。它提供一个行业标准的自动化测试方案,被全球所有 300mm 晶圆厂和设备制造商广泛采用。GCI E84 仿真器是唯一能够确保 300mm 工厂自动化互操作性的解决方案。

E84 仿真器可自动执行测试,用于检测主动和被动设备的并行输入/输出(PI/O)控制信号。SEMI® E84™ 标准定义了晶圆制造工厂中自动化物料搬运系统(AMHS)与生产设备之间转运过程中的控制信号。

E84 仿真器通过 USB 连接到基于 Microsoft® Windows 的笔记本或台式电脑。E84 仿真器应用程序兼容 Windows XP、7 和 10。

提供图形用户界面(GUI),支持主动和被动仿真的自动和手动测试模式。在自动测试模式中,可输入操作员姓名、测试日期和设备信息。

主动模式测试套件可验证工艺设备的 E84 接口行为。该模式下包含 20 个主动测试项,操作员可单独启用或禁用各项测试。类似的被动模式测试套件则用于测试传输设备。

主动模式下的静态测试要求操作员确认每个装载口是否配有标识清晰的 DB-25 插头,并验证是否有错误恢复文档。系统可选择性地显示 DB-25 接头标签和安装位置的图示。

主动模式下的功能性测试用于验证单次装载和卸载交接周期。部分测试检查设备是否能正确处理“Handoff Available”(可交接)信号问题。系统还提供五项测试,用于强制触发五种标准 TP 超时错误。此外,还有四项测试用于验证被动设备端口传感器的行为。其他测试内容包括紧急停止的响应情况,以及所需的 E84 +24V 电源供应。控制信号的时序图可选择性显示。

E84 仿真器设置工具界面截图
在自动测试模式中,测试计划和结果可选择性保存。保存的文件包括一个用于打印的 ASCII 文本文件。该文件记录了操作员输入的设备信息,以及由 E84 仿真器应用程序生成的每项测试信息,包括测试标题、结果、失败消息,以及用户在测试过程中输入的任何备注。保存的测试计划也可被重新调用,以继续未完成的测试。

手动测试模式提供一个菜单,允许用户手动切换并行输出信号的状态,并实时显示并行输入信号的状态

 

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