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E84 模拟器 – 兼容 Windows 10 / 11

GCI E84 模拟器是全球领先的测试设备，用于开发、实施和验证必须符合 SEMI® E84™ 标准的产品。它提供了一套行业标准的自动化测试计划，被全球所有 300mm 晶圆厂和设备制造商广泛采用。GCI E84 模拟器是唯一能够保证 300mm 工厂自动化互操作性的解决方案。

E84 模拟器提供了用于测试有源和无源设备的并行输入/输出（PI/O）控制信号的自动化测试流程。SEMI® E84™ 标准定义了晶圆制造工厂中自动化物料搬运系统（AMHS）与生产设备之间传输时所使用的控制信号。

E84 模拟器通过 USB 连接与基于 Microsoft® Windows 的笔记本或台式计算机相连。E84 模拟器应用程序兼容 Windows XP、10 和 11 系统。

系统提供图形用户界面（GUI），支持有源和无源模拟的自动和手动测试模式。在自动测试模式中，操作员可输入姓名、测试日期及设备信息。

有源模式测试套件用于验证工艺设备的 E84 接口行为。共有 20 项有源模式测试，操作员可单独启用或禁用。类似的无源模式测试套件也可用于传输系统的测试。

有源模式静态测试要求操作员确认每个装载端口都有标识清晰的 DB-25 插头，并确保有可用的故障恢复文档。系统还可选显示所需 DB-25 接头的标识及位置示意图。

有源模式功能测试用于验证单次交接的装载和卸载循环。多项测试可确认设备是否正确处理“可交接”状态问题。系统提供五项测试，分别强制触发五种标准 TP 超时错误。另有四项测试用于验证无源设备端口传感器的行为。其他测试包括紧急停止处理及 E84 +24V 电源电压验证。系统可选显示各种测试中控制信号的时序图。

E84 模拟器设置工具截图

在自动测试模式下，测试计划和结果可选择保存。保存的文件包括一个适用于打印的 ASCII 文本文件，内容包含操作员输入的所有设备信息，以及 E84 模拟器应用程序生成的每项测试信息。测试详情包括测试标题、结果、错误信息及用户在测试过程中输入的备注。保存的测试计划还可调用以继续测试。

手动测试模式提供一个菜单，允许用户切换并行输出信号状态，同时实时显示并行输入信号的状态。

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