工厂自动化在300mm半导体制造设施中得到广泛应用。300300mm工艺设备采用配备E84电气接口的标准装载端口,用于与自动化物料搬运系统(AMHS)进行物料传输。GCI公司的E84数据记录装置(DLD)提供了一种紧凑型解决方案,可非侵入式监控并记录与300毫米物料交接操作相关的E84握手协议。配合GCI数据记录器应用程序,这款E84 DLD成为在不中断工作流程的情况下捕获、分析和解决E84交接问题不可或缺的工具。
GCI E84 DLD的安装非常简单。首先断开光收发器的DB-25接口与工具顶部接口的连接。将DLD上标有”负载端口”的DB-25接口插入工具的DB-25接口。再将光收发器的DB-25接口插入DLD上标有”光收发器”的DB-25接口。通过串行电缆将DLD与PC或GCI E84手持测试仪连接,并对DLD进行配置。配置完成后,断开PC或手持测试仪与DLD的连接。DLD会立即开始记录所有E84交易数据。通过将PC或手持测试仪连接到DLD的串行端口,可随时上传记录的交易数据。此外,您还可以使用PC或手持测试仪实时监控信号,而不会中断交接操作。
GCI E84 DLD 特性
- 工具与光模块直接连接
- 无需外部电源
- 非侵入式感知E84接口信号
- 将最近50次切换操作记录至非易失性存储器
- 所有记录数据均标注时间和日期
- 可将记录数据上传至PC及GCI E84手持测试仪
- 支持循环记录或存储满时停止
- 在GCI E84手持测试仪和PC上实时绘制图表
- 兼容GCI E84数据分析软件
- 可选诊断过滤功能,仅记录失败切换
- 可选仅记录首次有效加载/卸载,后续仅记录失败操作
- 统计记录成功与失败切换次数