E84模拟器——兼容Windows 10/11系统
GCI E84仿真器是全球范围内最先进的测试工具,用于那些需要符合SEMI® E84™标准的产品在开发、制造及质量检测过程中的测试。它提供了行业标准的自动化测试方案,被全球所有的300毫米晶圆厂及设备制造商所采用。GCI E84仿真器是唯一能够确保300毫米晶圆厂内各种设备之间实现互操作的解决方案。
E84仿真器提供了用于测试有源及无源器件并行输入/输出控制信号的自动化测试程序。SEMI® E84™标准规定了在晶圆制造设施中,自动物料处理系统与生产设备之间进行数据传输时所使用的控制信号。
E84模拟器通过USB接口与基于Microsoft® Windows系统的笔记本电脑或台式机相连。该模拟器应用程序兼容Windows XP、10和11系统。
该系统提供了图形用户界面(GUI),支持主动仿真与被动仿真的自动测试模式与手动测试模式。在自动测试模式下,操作员需要输入姓名、测试日期以及设备信息等相关数据。
主动模式测试套件用于检测工艺设备E84接口的性能。共有20种主动模式测试,操作员可以单独选择启用或禁用这些测试。此外,还有类似的被动模式测试套件,可用于检测输送系统的工作性能。
主动模式静态测试要求操作员确认每个负载端口上都有相应的DB-25接口,并且要有错误恢复相关的文档。此外,还可以选择显示所需DB-25接口的标记位置图。
有主动模式功能测试,用于验证单次切换过程中的加载与卸载过程。还有多项测试用于确保设备能够正确处理各种切换相关问题。另有五项测试用于模拟五种常见的TP超时错误情况。四项测试则用于检测被动设备的端口传感器的性能。其他测试则用于验证紧急停止功能的正常性,以及E84+24V供电电压是否满足要求。对于各项测试,还可以选择性地显示控制信号的时序图。

在自动测试模式下,可以选择性地保存测试计划和测试结果。所保存的文件为适合打印的ASCII格式文本文件。该文本文件中包含了操作员输入的所有设备信息,以及E84仿真应用程序提供的各项测试相关数据。测试详情包括测试标题、测试结果、故障信息,还有用户在测试过程中输入的任何备注。此外,还可以重新调出已保存的测试计划,以便继续进行测试。
手动测试模式提供了一个菜单,允许用户切换并行输出信号的状态,同时持续显示并行输入信号的状态。
自动化主动测试
静态测试
- 标记的 DB-25 母头 E84 插头
- 正确的插头位置
- 记录的恢复程序
功能测试
- 可配置的被动设备定时器
- 满载/空载 +24V
- 单次交接加载顺序
- 单次交接卸载顺序
- 负载交接可用信号测试
- 交接可用顺序
- TP1-5 超时错误
- 访问模式选择
- 端口传感器
- 紧急停止
