产品介绍:
GCI E84 仿真器是全球领先的测试仪,用于开发、实现和验证必须符合 SEMI® E84™ 标准的产品。它提供了行业标准的自动化测试方案,被全球所有 300mm 晶圆厂和设备制造商所采用。GCI E84 仿真器是唯一能够保证 300mm 工厂自动化互操作性的解决方案。
E84 仿真器提供自动化流程,用于测试主动和被动实体的并行输入/输出(PI/O)控制信号。SEMI® E84™ 定义了晶圆制造设施中自动物料搬运系统(AMHS)与生产设备之间在传输过程中所使用的控制信号。
E84 仿真器通过 USB 连接至基于 Microsoft® Windows 的笔记本电脑或台式电脑。E84 仿真器应用程序兼容 Windows XP、10 和 11。
提供图形用户界面(GUI),支持主动和被动仿真的自动及手动测试模式。在自动测试模式下,操作员需输入姓名、测试日期和设备信息。
主动模式测试套件用于验证工艺设备 E84 接口的行为。共有 20 项主动模式测试,操作员可单独启用或禁用。还提供类似的被动模式测试套件,用于测试传输系统。
提供主动模式静态测试,要求操作员验证每个装载端口是否存在带标签的 DB-25 插头,并且具备错误恢复文档。可选择显示所需 DB-25 连接器的标签示意及位置图。
提供主动模式功能测试,用于验证单次交接的装载和卸载循环。多项测试验证设备是否正确处理交接可用问题。提供五项测试,分别强制产生五种标准 TP 超时错误。四项测试用于验证被动设备端口传感器的行为。其他测试验证紧急停止处理以及所需的 E84 +24V 供电电压。可选择显示各项测试的控制信号时序图。

在自动测试模式下,可选择保存测试计划和测试结果。保存的文件包括一个格式化为可打印的ASCII文本文件。该文本文件包含操作员输入的所有设备信息,以及E84仿真器应用程序提供的每项测试相关信息。测试详情包括测试名称、结果、故障信息以及用户在测试过程中输入的任何备注。保存的测试计划也可被重新调用以恢复测试。
手动测试模式提供了一个菜单,允许用户在连续显示并行输入信号状态的同时,切换并行输出信号的状态。

产品优势:
• 自动测试主动与被动E84并行输入/输出(PI/O)
• 图形用户界面(GUI)支持自动和手动测试模式
• 模拟主动和被动的装载与卸载过程
• 提供测试结果、故障信息、备注字段以及按设备进行跟踪