美国 Get Control, Inc （GCI）E84 测试 三轴加速度计测试工具
（Vib Tool）Tri-Axial Accelerometer Test Tool-INT02001 (Standard) ， INT02001-R (Reticle)
三轴加速度计测试工具（Vib Tool）
加速度计测试工具安装于 FOUP
AMHS 和输送系统制造商使用三轴加速度计测试工具在系统开发、安装和维护期间量化和评估振动特性。这一行业标准工具被 200mm 和 300mm 晶圆厂用于测量物料搬运系统对晶圆批次引起的振动。通过检测轨道错位的早期迹象，可对系统进行维护，以最小化对晶圆批次的振动影响。三轴加速度计测试工具可作为独立单元使用，也可与 GCI 信息中心配合使用，实现由 AMHS 车辆提供位置信息的自动记录。
GCI 三轴加速度计测试工具为 AMHS 供应商和终端用户提供精确的振动测量解决方案。该工具可在自动或手动运输过程中，同时采集并记录 X、Y、Z 三个轴的振动数据。
该工具电池供电，自成一体。随附适配板，可将工具牢固安装在 300mm FOUP 内。对于 200mm 应用，可选配安装板，将工具牢固安装在 200mm 晶圆承载器内。LCD 显示屏和按键提供配置选项访问。
板载数据处理
三轴加速度计测试工具在每个轴上以每秒 512 个数据点进行实时板载数据处理。提供多种数据处理选项，包括 RMS、峰值、峰值频率和真实 RMS。板载数据处理按半秒间隔（使用 FFT）进行，每秒每轴产生两个每种处理类型的简化数据点。记录容量受处理类型限制（最大 2 到 6 小时）。
简化数据存储在内部 SD 卡上，可在上传至 PC 分析前存储多个记录会话。提供 RS-232 接口，用于使用 InfoCenter Desktop 应用上传数据（联系 GCI）。
时域记录选项
可选配置时域记录选项，将时域数据记录到 Secure Digital 存储卡上。启用此选项后，三轴加速度计测试工具每秒每轴记录 512 个时域数据点至 SD 卡。记录容量受 SD 卡可用空间限制（最多 6 小时）。数据可在 PC 上使用 GCI VibPlot 或 InfoCenter Desktop 应用进行数据处理。
VibPlot 分析应用
VibPlot 可对记录的时域数据进行频率分析。VibPlot 可复制三轴加速度计测试工具的板载数据处理功能，并提供附加分析功能，如三维瀑布图和彩色频谱图。时域数据可显示，同时显示简化数据图表（RMS、峰值、真实 RMS）及每半秒间隔的 FFT 结果。
InfoCenter Desktop 应用
InfoCenter Desktop 提供与 VibPlot 相同的工具，并可上传和显示板载简化数据集。
功能特点
- 轴：X、Y、Z
- 测量范围：频率 DC 至 150Hz；振动 0.03g 至 2.00g（±0.01g）
- 电池/充电器：可充电 LiMH 电池组，先进电池充电电路；锂电池提供静态 RAM 备份，寿命可达 10 年（操作时间）；低电量警告指示
- 数据分析类型：RMS、峰值、RMS+峰值、RMS+峰值+频率、RMS+峰值+频率+真实 RMS+N
- 用户界面：2 × 16 字 LCD，4 键按键
- Flash PROM：存储系统固件，可通过 GCI 提供的固件文件轻松升级
- 内部 microSD 卡：存储记录会话，容量可存储数百个带时间戳的独立记录会话
- RS-232 接口：提供一个 RS-232 端口，用于将记录的数据下载至主机 PC
