E84 DLD
E84 数据记录设备
这是一款每位现场技术员和设备所有者都需要的解决方案，用于快速定位和解决导致 E84 交接失败的信号异常、丢失和故障。该新一代记录设备为小型独立单元，可插入被动设备与 PI/O 收发器之间，捕获并写入 E84 握手信号至其非易失性存储器。其内部存储器可存储超过 50 次 FOUP 交接。为了扩展记录容量，可启用内置诊断过滤功能，在启用时，E84 DLD 会忽略正常交接，仅将失败的交接写入内部存储器。该工具随附 GCI 行业领先的诊断软件 E84 分析应用程序。
在 300mm 半导体晶圆厂中，工厂自动化被广泛应用。300mm 工艺设备使用标准负载端口并集成 E84 电气接口，将物料与自动化物料搬运系统（AMHS）进行传输。GCI 的 E84 数据记录设备（DLD）提供紧凑的解决方案，可非侵入式地监控并记录 300mm 物料交接操作的 E84 握手信号。结合 GCI 的 E84 分析应用程序，E84 DLD 是捕获、分析和解决 E84 交接问题的必备工具，无需中断生产流程。
功能特点
- 直接连接工具与光收发器之间
- 无需外部电源
- 非侵入式检测 E84 接口信号
- 可记录超过 50 次交接操作至非易失性存储器
- 所有记录数据带时间和日期戳
- 可上传记录数据至 PC 和 GCI E84 手持测试仪
- 环绕式记录保存最近交接数据
- 可在 GCI E84 手持测试仪和 PC 上实时绘图
- 与 GCI E84 分析应用程序兼容
- 可选诊断过滤，仅记录失败交接
- 可选择记录首次有效装载/卸载，之后仅记录失败
- 可统计成功与失败交接次数
安装方法
断开光收发器 DB-25 与工具顶部接口的连接。将 DLD 上标记为 “Load Port” 的 DB-25 插入工具的 DB-25 接口，将光收发器 DB-25 插入 DLD 上标记为 “Optical Transceiver” 的接口。用串行电缆连接 DLD 与 PC 或 E84 手持测试仪并配置 DLD。配置完成后，可断开 PC 或手持测试仪与 DLD 的连接。
DLD 会立即开始记录所有 E84 事务。通过将 PC 或手持测试仪连接至 DLD 串行端口，可随时上传记录的事务。此外，可使用 PC 或手持测试仪实时监控信号，无需中断交接操作。
规格
- 电源：+24V @ 10mA，由 E84 +24V 电源提供
- RS-232 串行通信接口
- 19 个输入通道
- 采样率：500 Hz
- 尺寸：3.8″ × 2.1″ × 0.8″（96.5mm × 53.3mm × 20.3mm）
- DB-25 公（主动）和 DB-25 母（被动）端子
包装内容
- E84 数据记录设备
- 6 英尺公母 DB-9 电缆
- 用户手册
