美国 Get Control, Inc （GCI）E84 测试 GCI E84 Monitoring System (EMS) GCI E84 监控系统（EMS）半导体设备测试 SEMI® E84 PI/O 监控 GCI06100 (2-Port) / GCI06101 (3-Port) / GCI06102 (4-Port)

美国 Get Control, Inc （GCI）E84 测试 GCI E84 Monitoring System (EMS) GCI

E84 监控系统（EMS）半导体设备测试 SEMI® E84 PI/O 监控 GCI06100 (2-Port) / GCI06101 (3-Port) / GCI06102 (4-Port)

E84 监控系统
EMS 框图

GCI 的 E84 PI/O 监控系统（EMS）可同时对两到四个 300mm 负载端口的 E84 PI/O 信号转换进行实时监控和存储。

晶圆厂中的物料交接由 E84 握手控制。晶圆厂中最耗时且成本最高的排障任务之一是确定物料交接失败的原因及纠正方法。对 E84 控制信号的详细分析对于确定交接失败的根本原因至关重要。

GCI EMS 可根据配置连续显示并记录两到四个负载端口的 E84 信号状态。它将记录数据组织为每日日志文件，便于访问特定交接记录。强大的搜索功能允许操作员列出指定时间范围内某负载端口的所有失败交接。

功能特点

• 实时显示两到四个负载端口的 E84 信号转换
• 将 E84 信号转换记录到每日日志文件
• 强大的日志搜索功能，可定位特定 E84 交接序列的时序细节
• 单个 E84 交接序列的详细时序分析及区段汇总
• 每日日志文件回放分析模式
• 错误分析模式，可定位每日日志文件中的失败交接序列
• 经过时间分析工具
• 缩放显示分析工具
• 以 Windows 位图格式导出图形显示
• 以表格文本格式导出记录数据
• 当与 PC 通信中断时，E84 事件记录在 DLD 的电池备份 RAM 中

EMS 实时显示
实时观察 E84 信号转换。默认 EMS 屏幕显示两到四个负载端口的所有 E84 信号电平。可选择在负载端口不可交接（HO_AVBL 信号关闭）时自动暂停实时显示。

EMS 搜索窗口
使用日志搜索功能查找特定 E84 交接尝试。选择日期和时间范围、目标负载端口及交接类型（成功或失败），即可显示匹配的 E84 交接尝试列表。选择所需的 E84 交接尝试，点击“详细”按钮显示详细的 E84 交接状态。

EMS 详细状态图
通过日志搜索功能选择 E84 交接序列，显示 E84 时序细节。屏幕显示所选交接的所有 E84 事件。边界区（根据 E84-0304 规范定义）在时序图上标出，并显示边界区汇总，包括每个区段的开始时间戳和持续时间。可使用测量工具进行附加时序分析。

系统组件

• 预装并配置 E84 监控系统应用软件的 Windows XP 专业版笔记本电脑
• 每个配置的负载端口（2 到 4 个）：
  • 一个 GCI 数据记录设备（DLD – 型号 GCI06001）
  • 一个 5 米 GCI E84 光收发器（型号 GCI04002-5m）
  • 一根 15 英尺 9 针串行通信电缆（型号 GC72802015）
  • 一根 USB 转串行转换电缆（型号 SW-1301）
• PC Guardian 安全电缆（型号 2900-95）
• USB 鼠标（型号 X800898）
• 用户手册（印刷版）
• 备份安装光盘