E84 手持测试仪
E84 手持测试仪（E84 HHT）是快速测试、排查和解决 E84 问题的最高效工具。该自带电池的独立设备集成了 E84 仿真器提供的行业领先的自动装载和卸载程序，并引入多项行业首创功能，可快速定位 E84 问题的原因：
GCI 的 E84 HHT 是便携式解决方案，用于 E84 的维护、故障排查和安装。它集成了实时信号显示、电压和电流测量及测试结果存储于一体的易用仪器，可快速解决 E84 接口问题。
其 SD 卡接口允许保存测试结果并传输至 PC 以便进一步分析。该接口便于结果存储管理，并简化了数据传输到 PC 进行详细分析的过程。测试结果以格式化 ASCII 文本文件和兼容 GCI E84 分析应用程序的二进制格式保存。可使用 E84 HHT 的标准装载和卸载循环测试查看 E84 信号的时序图。
由于 E84 I/O 信号数量多且为开路集电极逻辑，标准万用表测量无法提供足够细节来确定 E84 故障原因。E84 接口问题导致的信号异常最好通过 E84 HHT 提供的模拟电压和电流测量进行检查。
GCI E84 仿真器提供的行业标准 E84 测试套件也已集成至 E84 HHT，使操作员可在排障环境中运行与设备验收测试相同的系列测试。
功能特点
- 菜单驱动界面
- 内置红外收发器
- 支持外部红外收发器
- 每个 E84 信号的电压和电流显示
- 自动主动和被动装载与卸载测试
- 手动控制每个 E84 输出并监控 I/O
- 自动红外收发器测试
- 连接 GCI E84 DLD 或 RJ-11 光收发器时实时显示信号
- GCI E84 仿真器测试套件
- 测试结果保存至 SD 卡
- 按工艺设备 ID 组织测试结果
- 从 GCI E84 DLD 上传数据到 SD 卡
- 轻松将保存的数据及记录的 DLD 数据传输至 PC
- 使用 GCI E84 分析应用程序分析数据
- 内置时钟和日历
- 可充电电池
- 固件可现场升级
规格
- 内置符合 E84 标准的红外收发器
- 主动和被动电气 E84 接口
- DB-25 公（主动）和 DB-25 母（被动）端子
- 自带可充电电池
- SD 卡接口
- RS-232 串行通信接口
- 尺寸：9.3″ × 4.9″ × 1.6″（236mm × 125mm × 41mm）
包装内容
- GCI E84 手持测试仪
- 2 GB SD 闪存卡
- 15 英尺公母 DB-25 电缆
- +15 VDC 电源适配器（120 VAC）
- GCI 手持测试仪用户手册
测试功能
装载/卸载测试
使用内部红外重新创建 E84 故障进行装载和卸载测试；若红外通信距离超过一米，可使用外部红外设备。
E84 HHT 在交接操作过程中实时绘制 E84 信号，并提示装入或移除 FOUP，同时显示倒计时。
保存至 SD 卡的测试结果包括测试设置（TA 和 TP 定时器设置、循环类型）、测试完成状态及实时图表，可使用 E84 分析应用程序进行详细时间图分析。
光收发器测试
将光收发器连接至 E84 HHT 并执行红外收发器测试，可将 E84 故障定位到收发器或工艺设备。
红外收发器测试独立验证每个光收发器信号，并生成汇总报告。每个信号的开/关状态下的电压和电流也可显示。
故障分析包括信号间短路、信号与地短路以及开路信号测试。
保存至 SD 卡的测试结果包括所有电压和电流测量、模式测试结果及故障分析错误信息，格式为 ASCII 文本文件。
电压/电流测量
将 E84 HHT 直接连接至工艺设备的 E84 控制器，可测量并显示 E84 接口电压水平。显示所有 E84 I/O 信号，包括信号名称、针脚分配、I/O 编号及直流电压测量，实时显示。
可通过单一选项按钮在电压和电流测量显示之间切换。
选择手动模式可更改 E84 HHT 输出状态，并监控工艺设备响应。
可将 E84 接口当前状态的测量结果保存至 SD 卡，保存的测试结果包含所有 E84 I/O 信号的电压和电流测量。
测试结果管理
SD 卡中保存的测试结果按工艺设备 ID 组织，每个工艺设备分配一个 8 字符 ID 标签。可输入详细工艺设备信息以识别各个工具。工艺设备 ID 和信息记录可在 PC 上使用标准文本编辑器（如 Notepad®）创建/编辑并保存至 SD 卡，也可通过 E84 HHT 的软键界面在晶圆厂中创建新工具 ID 标签。
测试结果可通过 SD 卡轻松传输至 PC，按标准 Windows® 文件夹结构组织为独立文件。大多数结果文件可用文本编辑器打开或导入文字处理器生成报告。部分文件（循环测试、手动控制条形图）可使用 GCI 的 E84 应用查看。
