美国 Get Control, Inc (GCI)E84 测试 E84 仿真器 GCI E84 仿真器是唯一能够保证 300mm 工厂自动化互操作性的解决方案

美国 Get Control, Inc (GCIE84 测试 E84 仿真器 GCI E84 仿真器是唯一能够保证 300mm 工厂自动化互操作性的解决方案

GCI 的 E84 仿真器提供用于验证 300mm 晶圆生产设备和自动化物料搬运系统(AMHS)所需增强型载具交接并行 I/O 接口(Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface)符合 E84 标准的自动化程序。连接至 PC 后,GCI E84 仿真器是测试 300mm 物料交接操作相关通信功能和电气要求的必备工具,也可用于维护以排查和识别接口故障。仿真器提供并行端口或 USB 接口两种版本。

应用软件
图 5 – 配备笔记本主机的 E84 仿真器控制器

测试模式
GCI 基于 Windows 的测试套件提供直观易用的图形用户界面,包括自动和手动测试模式。该套件由 300mm 晶圆厂部署领域的领先企业共同开发。自动测试模式提供了全面的测试计划,用于主动和被动实体之间的单次交接序列,包括 20 个主动实体测试和 18 个被动实体测试。每项测试可由用户单独启用或禁用。手动测试模式允许用户单独切换并行输出信号的状态,同时持续监控并行输入信号的状态。

GCI 仿真器自 2000 年起支持 CCSTests© 测试计划。自动测试模式包括静态测试和功能测试。静态测试允许用户验证标记的 DB-25 插头是否存在且安装在正确位置,可选择显示连接器的标记及位置示意图。功能测试包括验证单次交接装载、单次交接卸载、交接可用状态、急停、超时、被动设备端口传感器以及 +24V 电源电压。可选择显示各项测试控制信号的时序图。

可输入操作员姓名、测试日期和设备信息。测试计划和结果可保存为 ASCII 文本格式以便打印。保存的文件包含用户输入的所有信息,以及 E84 仿真器应用程序提供的每项测试信息。测试详情包括测试标题、结果、失败信息及用户在测试过程中输入的备注。已保存的测试计划可被调用以继续测试。

光隔离接口
E84 仿真器控制器提供主动和被动光隔离接口,通过标准双向并行打印端口连接 PC。两个 DB-25 连接器分别作为主动和被动实体,为 AMHS 和工艺设备提供接口。支持的电气实现包括光隔离硬接线连接及通过光传输设备的连接。


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