E84测试
GCI提供工具，帮助快速定位E84问题，提高300毫米晶圆厂的生产效率，并缩短AHMS、EFEM及刀具制造商的E84接口开发时间。
- E84 模拟器是全球领先的产品开发、实施和认证测试平台，必须符合 SEMI E84 标准。
- E84手持测试仪是目前最高效的工具，用于快速测试、排查和解决E84问题。
- E84 DLD（数据记录设备）是一种自给自足的解决方案，用于快速定位和解决导致E84切换失败的问题。
- E84 分析应用是 GCI 行业领先的诊断软件，可与 GCI 的 E84 DLD、RJ-11 收发器和 E84 手持测试产品接口。
E84 模拟器
GCI E84 模拟器是全球领先的开发、实施和认证测试平台 必须符合SEMI® E84™标准的产品。它提供了行业标准 全球所有300毫米FAB和设备制造商都采用自动化测试计划。GCI E84 模拟器是 唯一能保证300毫米工厂自动化互作性的解决方案。
E84 模拟器提供自动化程序来测试并行输入/输出（PI/O）控制信号 有主动和被动实体。SEMI® E84™ 定义了在 晶圆制造中自动化物料搬运系统（AMHS）与生产设备之间的转移 设施。
E84 模拟器通过 USB 连接连接到基于 Microsoft® Windows 的笔记本或台式机。 E84 模拟器应用程序兼容 Windows XP、10 和 11。
提供图形用户界面（GUI），支持主动和 被动模拟。在自动测试模式中，会输入操作员姓名、测试日期和 设备信息。
主动模式测试套件验证工艺设备E84接口的行为。共有20家 操作员可单独启用或禁用的主动模式测试。类似的被动模式测试 该套件可用于测试配送系统。
提供主动模式静态测试，要求操作员确认存在标注的DB-25插头 每个加载端口都有错误恢复文档。标签和位置图 可选显示所需的DB-25连接器。
提供主动模式功能测试以验证单次切换加载和卸载循环。多项测试 确认设备能够妥善处理“切换可用”问题。提供五个测试，分别强制执行 五个标准TP超时错误中的一员。四次测试验证被动设备端口的行为 传感器。其他测试验证紧急停止作能力及所需的E84 +24V供电电压。时序图 各种测试的控制信号可选择显示。
在自动测试模式下，测试计划和结果可选择性保存。保存的文件包括ASCII文本 文件格式化以便打印。该文本文件包含操作员输入的所有设备信息， 以及E84模拟器应用程序提供的每项测试信息。测试细节包括 标题、结果、失败信息以及用户在测试中输入的任何评论。保存的测试计划可能 同时被召回继续检测。
手动测试模式提供一个菜单，允许用户切换并行输出信号的状态 同时持续显示并行输入信号的状态。
E84手持测试仪
E84手持测试仪（E84 HHT）是目前最高效的快速测试工具， 故障排除，以及解决E84问题。这款自包含的电池驱动工具集成了 E84 模拟器提供了行业领先的自动装卸流程。它包含了 以下是行业首创，帮助快速找到E84问题的答案：
- 每个E84信号的电压和电流测量
- 自动化光学收发器测试
- 使用GCI E84 DLD和RJ-11光收发机实时显示E84通信
GCI的E84 HHT是用于E84维护、故障排除和安装的便携解决方案 应用。它是一款集成E84测试工具，具备实时信号显示、电压和电流功能 测量和测试结果存储在一个易于使用的仪器中。用E84 HHT来快速查找 解答你E84接口的问题。
其SD卡接口允许测试结果保存并传输到电脑进行进一步分析。就是这样 接口增强了结果存储的组织，并简化了结果向 PC 的传输 详细分析。测试结果以格式化的ASCII文本文件存储，且兼容二进制格式 与行业领先的GCI E84分析应用合作。查看录制的E84信号的定时图 使用E84 HHT标准的装卸循环测试。
由于E84 I/O信号数量众多及其开集电极逻辑，标准电表测量无法实现 提供足够的细节以确定E84故障原因。导致E84接口问题的信号异常是最佳选择 使用E84 HHT提供的模拟电压和电流测量进行研究。
GCI E84 模拟器提供的行业标准 E84 测试套件也被添加到 E84 HHT 中。现在操作员可以在故障排除环境中执行同样的测试系列， 用于工具验收测试。
特色
- 菜单驱动界面
- 内部红外收发器
- 支持外接红外收发器
- 每个E84信号的电压和电流显示
- 自动主动和被动载荷及卸载测试
- 每个E84输出的手动控制，带I/O监控
- 自动化红外收发器测试
- 连接GCI E84 DLD或RJ-11光收发机时的实时信号显示
- GCI E84 模拟器测试套件
- 将测试结果保存到SD卡
- 根据流程工具ID组织测试结果
- 将GCI E84 DLD的数据上传到SD卡
- 可以轻松地将保存数据和已记录的DLD数据传输到PC。
- 使用 GCI E84 分析应用来分析数据
- 内置时钟和日历
- 可充电电池
- 固件可以现场升级
规格
- 内置符合E84标准的红外收发器
- 有源与无源电气E84接口
- DB-25公头（主动）和DB-25母头（被动）终端
- 自带式可充电电池
- SD卡接口
- RS-232 串行通信接口
- 9.3英寸×4.9英寸×1.6英寸（236毫米×125毫米×41毫米）
包装内容
- GCI E84手持测试仪
- 2GB SD闪存卡
- 15英尺公母DB-25电缆
- +15伏直流墙式电源（120伏交流）
- GCI手持测试仪用户手册
测试赛
装卸测试
使用内部红外线进行负载和卸载测试，以重现E84故障。或者，使用外部红外线 当红外通信距离超过内部红外一米范围时，该设备。
E84 HHT会在切换作进行时实时绘制E84信号。它提示了 FOUP（装载）或取消FOUP（卸载），同时显示倒计时器。
存储在SD卡中的测试结果包括测试设置细节（TA和TP定时器设置、周期类型）、测试 完工状态，以及实时图表。使用E84分析应用进行详细分析 时间情节。
光学收发器测试
将光学传输器连接到E84 HHT，并进行红外传输器测试以隔离E84故障 收发器还是过程工具。
红外收发器测试独立验证每个光学收发信号，并生成总结报告。 每个信号的电压和电流测量数据也可以显示，无论是开或关状态。
失效分析包括信号间短路测试、信号与接地短路测试以及测试 为了开放信号。
存储在SD卡上的测试结果包括所有电压和电流测量、模式测试结果，以及 格式化ASCII文本文件中的失败分析错误消息。
电压/电流测量
将E84 HHT直接连接到工艺工具的E84控制器，以测量并显示E84接口 电压水平。所有E84 I/O信号都会显示，包括信号名称、引脚分配、I/O编号和直流 电压测量。测量数据实时显示。
通过一个选项按钮在电压和电流测量显示之间切换。
选择手动模式以改变E84 HHT的输出状态，并监控工艺工具的响应。
保存E84接口到SD卡当前状态的测量数据。保存的测试结果包括所有 所有E84输入输出信号的电压和电流测量。
测试结果组织
存储在SD卡上的测试结果按流程工具ID进行组织。每个流程工具都被打8分 角色ID标签。可以输入详细的流程工具信息以识别各个工具。流程工具ID 信息记录可以通过标准文本编辑器（记事本®）在PC上创建/编辑并保存到 SD卡。可以使用 E84 HHT 的软键界面在 FAB 中创建新的工具 ID 标签。
测试结果可以通过SD卡轻松传输到电脑。测试结果会被整理 作为标准Windows®文件夹结构中的单个文件。大多数结果文件都可以通过文本打开 编辑或导入文字处理器用于报表生成。一些文件（循环测试、手动控制） 条形图）可以通过GCI的E84分析应用程序查看。
