E84仿真器——现已兼容Windows 10！
GCI E84仿真器
作为全球领先的SEMI® E84™标准合规测试平台，GCI E84仿真器为半导体设备开发、实施与认证提供专业测试方案。这款行业标准自动化测试工具被全球所有300mm晶圆厂和设备制造商采用，是唯一能确保300mm工厂自动化互操作性的解决方案。
该仿真器通过自动化流程测试有源/无源设备的并行输入输出(PI/O)控制信号，严格遵循SEMI® E84™标准中关于晶圆制造设施内自动化物料搬运系统(AMHS)与生产设备间传输控制信号的规范。
通过USB接口连接Windows®系统电脑，E84仿真器应用程序兼容Windows XP/7/10操作系统。其图形用户界面(GUI)支持有源/无源仿真的自动与手动测试模式。在自动测试模式下，操作员需输入姓名、测试日期及设备信息。
有源模式测试套件可验证工艺设备的E84接口性能，包含20个可单独启停的测试项目；无源模式测试套件则专用于传输系统检测。静态测试会提示操作员确认每个装载端口是否配备标记的DB-25插头及错误恢复文档，并可选择性显示DB-25接口的标注图示。
功能测试涵盖单次交接装卸循环验证、可用交接信号处理测试、五大标准TP超时错误触发、无源设备端口传感器检测，以及急停功能与+24V供电验证等核心项目，测试过程中可选择性显示控制信号的时序图。
自动测试模式下，测试方案与结果可保存为包含完整测试记录的ASCII文本文件（支持打印），涵盖设备信息、测试标题、结果、故障信息及用户备注等数据，并支持方案调取续测。手动测试模式则提供并行输出信号状态切换菜单，并实时显示输入信号状态。
