GCI三轴加速度计测试工具（振动工具）
安装在FOUP中的加速度计测试工具
AMHS和输送设备制造商使用三轴加速度计测试工具，在系统开发、安装和维护过程中量化和评估振动特性。这一行业标准工具被200mm和300mm晶圆厂用于测量物料搬运系统对晶圆批次产生的振动。通过检测轨道错位的早期迹象，可以对系统进行维护，以最小化晶圆批次受到的振动影响。三轴加速度计测试工具可作为独立单元使用，也可与GCI信息中心配合使用，通过AMHS车辆提供的位置数据实现自动化记录。
GCI的三轴加速度计测试工具为AMHS供应商和终端用户提供了精确的振动测量解决方案。该工具在自动化或手动运输过程中，同时采集并记录X、Y和Z轴上的振动数据。
三轴加速度计测试工具采用电池供电，自成一体。适配板可将工具牢固安装在300mm FOUP内部。对于200mm应用，可选配安装板，将工具固定在200mm晶圆载具内。LCD显示屏和键盘提供配置选项的访问。
板载数据简化
三轴加速度计测试工具实时对每个轴每秒512个数据点进行板载数据简化。提供多种数据简化选项，包括RMS（均方根）、峰值、峰值频率和真实RMS。板载数据简化以半秒为间隔（使用FFT），每轴每秒为每种简化类型生成两个简化数据点。记录容量受简化类型限制（最长2至6小时）。
简化数据存储在内部SD卡上。在上传至PC进行分析之前，可存储多次记录会话。提供RS-232端口，用于通过InfoCenter桌面应用程序上传数据（联系GCI）。
时域记录选项
三轴加速度计测试工具可配置时域记录选项，将时域数据记录到安全数字存储卡中。启用此选项后，工具每秒每轴直接向安装的SD卡记录512个时域数据点。记录容量受SD卡可用空间限制（最长6小时）。数据简化通过PC上的GCI VibPlot或InfoCenter桌面应用程序完成。
VibPlot分析应用程序
VibPlot屏幕截图
VibPlot提供对记录的时域数据进行频率分析的工具。VibPlot复制了三轴加速度计测试工具中的板载数据简化功能，并增加了额外的分析特性，如三维瀑布图和彩色频谱图。时域数据可与简化数据（RMS、峰值、真实RMS）图表及每半秒间隔的FFT结果一同显示。
InfoCenter桌面应用程序
InfoCenter桌面应用程序在更新的应用中提供与VibPlot相同的工具，还可上传和显示板载简化数据集。
特性
轴
X、Y和Z
测量
频率：DC至150Hz
振动：0.03g至2.00g（±0.01g）
电池/充电器
可充电LIMH电池组
先进电池充电电路
锂电池提供静态RAM备份——寿命长达10年（运行时间）
低电量感应及警告指示器
数据分析类型
RMS
峰值
RMS和峰值
RMS、峰值和频率
RMS、峰值、频率、真实RMS和N
加速度计测试工具
用户界面
2×16字符LCD
4键键盘
闪存PROM
存储系统固件
可通过GCI提供的固件文件轻松升级
内部microSD卡
存储记录会话
存储容量支持数百次（取决于记录长度）带时间戳的独立记录会话
RS-232接口
提供一个RS-232端口，用于将记录数据下载至主机PC。