E84监控系统
EMS系统框图
GCI公司E84 PI/O监控系统（EMS）可同时对2至4个300mm装载端口实现E84 PI/O信号跳变的实时监控与存储。
在晶圆厂内，所有物料交接均通过E84握手协议控制。物料交接故障的排查与修复是晶圆厂中最耗时且成本最高的维护工作之一，而E84控制信号的详细分析对确定交接故障的根本原因至关重要。
GCI EMS系统根据配置持续显示并记录2至4个装载端口的E84信号状态，将记录数据按日生成日志文件，便于快速检索特定交接记录。强大的搜索功能可让操作员列出指定时间段内某装载端口所有失败的交接记录。
系统特性
• 实时显示2-4个装载端口的E84信号跳变
• 将E84信号跳变记录至每日日志文件
• 强大的日志搜索功能可定位特定E84交接序列的时序细节
• 通过区域摘要对单个E84交接序列进行详细时序分析
• 日志文件回放分析模式
• 错误分析模式可定位日志文件中的失败交接序列
• 耗时测量分析工具
• 缩放显示分析工具
• 支持Windows位图格式导出图形界面
• 支持表格文本格式导出记录数据
• 当与PC通信中断时，E84事件将存入DLD设备的电池供电RAM
EMS实时显示界面
实时查看E84信号跳变。默认EMS界面显示2-4个装载端口所有E84信号电平的实时状态。当装载端口无法进行交接时（HO_AVBL信号关闭），可选择自动暂停实时显示。
EMS搜索窗口
使用日志搜索功能查找特定E84交接尝试。选择日期时间范围、目标装载端口及交接类型（成功/失败）后，系统将显示匹配的E84交接尝试列表。选择目标交接记录后点击”详情”按钮，即可查看详细E84交接状态（如下所述）。
EMS详细状态图
通过日志搜索功能选择E84交接序列后，可查看详细时序信息。该界面显示所选交接相关的所有E84事件，时序图中标有E84-0304规范定义的边界区域，并附含各区域起始时间戳与持续时间的边界区域摘要。还可使用测量采样工具进行附加时序分析。
系统组件
• 预装E84监控系统软件的Windows XP专业版笔记本电脑
• 每个配置的装载端口（2-4个）包含：
GCI数据记录设备（DLD，型号GCI06001）
5米GCI E84光纤收发器（型号GCI04002-5m）
15英尺9针串口通信线（型号GC72802015）
USB转串口转换线（型号SW-1301）
PC Guardian防盗锁（型号2900-95）
USB鼠标（型号X800898）
• 印刷版用户手册
• 系统备份安装光盘
