美国Get Control Inc Tri-Axial Accelerometer Test Tool 三轴加速度计测试工具（振动工具），进口代理GCI

Get Control  三轴加速度计测试工具（振动工具）

Tri-Axial Accelerometer Test Tool (Vib Tool)

自动物料搬运系统和输送机制造商利用三轴加速度计测试工具来量化和鉴定其系统在开发、安装和维护过程中的振动特性。这个行业标准工具被200mm和300mm的FABs用来测量其物料搬运系统对晶圆批次引起的振动。通过检测轨道偏移的早期迹象，可以维护系统以最小化对晶圆批次引起的振动。三轴加速度计测试工具可以作为独立单元或与GCI信息中心一起使用，以提供自动记录并附带由AMHS车辆提供的位置数据。

GCI的三轴加速度计测试工具为自动化物料搬运系统（AMHS）供应商和最终用户提供了一个精确的振动测量解决方案。该工具在自动化或手动运输过程中同时采集并记录X、Y和Z轴的振动数据。

三轴加速度计测试工具是电池供电且自带电源的。包括适配器板以将工具刚性安装在300mm FOUP内。对于200mm应用，可订购可选的安装板以将工具刚性安装在200mm晶圆载体内。LCD显示屏和键盘提供了配置选项的访问。

机载数据压缩

三轴加速度计测试工具能够实时执行每轴每秒512个数据点的机载数据缩减。提供了几种数据缩减选项，包括均方根值（RMS）、峰值、峰值频率和真实均方根值。机载数据缩减以半秒间隔进行（使用FFT），每种缩减类型每轴每秒产生两个缩减后的数据点。记录容量受限于缩减类型（最多两到六小时）。

数据已减少并存储在内部SD卡上。可以在上传到PC进行分析之前存储多个录音会话。提供了一个RS-232端口，用于使用InfoCenter桌面应用程序（联系GCI）进行数据上传。

时域记录选项

三轴加速度计测试工具 可选配时域记录 选项，该选项将时域数据记录到安全数字存储卡中。通过此选项，三轴加速度计测试工具 每秒直接将每个轴的512个时域数据点记录到已安装的SD卡上。记录容量受SD卡可用空间的限制（最多6小时）。数据还原可在PC上使用GCI的VibPlot 或 InfoCenter桌面 应用程序进行。

振动图分析应用程序

VibPlot提供了对记录的时间域数据进行频率分析的工具。VibPlot复制了三轴加速度计测试工具中可用的机载数据缩减功能，并提供了额外的分析功能，如三维瀑布图和彩色频谱图。时间域数据可以与缩减数据的图表（均方根值、峰值、真实均方根值）以及每个1/2秒间隔的FFT结果一起显示。

信息中心桌面应用程序

信息中心桌面应用程序提供了与VibPlot相同的工具，并且是一个更新的应用程序，它还可以上传和显示机载的简化数据集。

Get Control  三轴加速度计测试工具特点:

轴

• X、Y 和 Z

测量

• 频率DC至150Hz
• 振动0.03克至2.00克（±0.01克）

电池/充电器

• 可充电LIMH电池组
• 高级电池充电电路
• 锂电池提供静态RAM备份 – 使用寿命长达10年（操作时间）
• 低电量提示及警告指示器。

数据分析类型

• 皇家邮轮
• 高峰
• 均方根值和峰值
• 均方根值、峰值和频率
• 均方根值、峰值、频率、真均方根值和N

用户界面

• 2×16字符液晶显示器
• 4键键盘

闪存可编程只读存储器

• 存储系统固件
• 使用GCI的固件文件可以轻松升级

内部microSD卡

• 存储录音会话
• 存储容量允许数百个（取决于录制长度）单独的时间戳记录制会话

RS-232接口

• 提供一个RS-232端口用于将记录的数据下载到主机PC。