GET CONTROL Vib Tool 三轴加速度计测试工具,GCI震动测试仪
AMHS和输送机制造商使用三轴加速度计测试工具来量化和确认其系统在开发、安装和维护期间的振动特性。该行业标准工具被200mm和300mm晶圆厂用来测量其物料处理系统对晶圆批次引起的振动。通过检测轨道偏移的早期迹象，系统可以被维护以最小化对晶圆批次引起的振动。 三轴加速度计测试工具可以作为独立单元使用或与GCI信息中心结合使用，以自动记录由AMHS车辆提供的位置数据。
GCI的三轴加速度计测试工具为AMHS供应商和最终用户提供了一种精确的振动测量解决方案。该工具在自动或手动运输过程中同时获取和记录X、Y和Z轴的振动数据。
该三轴加速度计测试工具由电池供电，自成一体。适配板包括在内，用于将工具牢固地安装在300mm FOUP内。对于200mm的应用，可以订购可将工具牢固安装在200mm晶圆盒内的选配安装板。LCD显示屏和键盘提供配置选项的访问。
机载数据压缩
该三轴加速度计测试工具实时对每个轴上的512个数据点进行数据缩减。提供了几种数据缩减选项，包括RMS、峰值、峰值频率和真RMS。每个缩减类型在半秒间隔内（使用FFT）进行板上数据缩减，每个轴每秒产生两个缩减数据点。记录容量受缩减类型限制（最多两到六小时）。
减少的数据存储在内部SD卡上。在上传到PC进行分析之前，可以存储多个记录会话。使用InfoCenter桌面应用程序（联系GCI）通过RS-232端口上传数据。
时域记录选项
该三轴加速度计测试工具可以选配时域记录 选项，该选项将时域数据记录到安全数字存储卡中。有了这个选项，三轴加速度计测试工具每轴每秒直接记录512个时域数据点到安装的SD卡上。记录容量受限于SD卡可用空间（最多6小时）。数据缩减在PC上通过GCI的VibPlot或InfoCenter Desktop应用程序提供。
VibPlot 分析应用程序
VibPlot 提供了对记录的时间域数据进行频率分析的工具。 VibPlot 复制了 三轴加速度计测试工具 中的机载数据减少功能，并提供了额外的分析功能，例如三维瀑布图和颜色频谱图。时间域数据可以与减少数据（RMS、峰值、真RMS）和每个半秒间隔的FFT结果一起显示。
信息中心桌面应用程序
该InfoCenter桌面应用程序提供了与VibPlot相同的工具，并且更新的应用程序还可以上传和显示车载简化数据集。
功能
轴
- X、Y和Z
测量
- 频率 直流到150赫兹
- 振动 0.03g 到 2.00g (±0.01g)
电池 / 充电器
- 可充电镍氢电池组
- 高级电池充电电路
- 低电量感应和警告指示灯。
数据分析类型
- 均方根
- 峰值
- 均方根和峰值
- 均方根值、峰值和频率
- RMS，峰值，频率，真RMS，和N
