GCI E84 DLD数据记录设备非侵入式检测 E84 接口信号

GCI E84 DLD数据记录设备非侵入式检测 E84 接口信号

这是一款专为现场技术人员和设备所有者设计的记录设备,可快速定位和解决导致 E84 物料交接失败的信号异常掉点和故障。装置体积小巧,自带存储,可安装在被动设备与光学收发器之间,自动捕捉并记录 E84 信号的状态变化。


主要功能与优势

  • 插在设备与光学收发器之间即可使用

  • 无需外部供电

  • 非侵入式监测所有 E84 交互信号

  • 内部存储可保存超过 50 次 FOUP 交接记录

  • 支持诊断过滤:只记录失败的交接,提高存储效率

  • 每条记录带有日期与时间戳

  • 可通过串口上传数据至电脑或 E84 手持测试器

  • 环形记录机制:自动保留最新交接记录

  • 可在手持测试器或电脑上进行实时波形图显示

  • 与其配套的分析软件兼容

  • 可选择只记录首个有效交接并统计后续成功/失败次数


应用背景

在 300mm 半导体晶圆厂中,大量使用自动化物料搬运系统,各类工艺设备通过标准的上片口接口完成物料交换。该数据记录装置可在不影响正常物料流动的情况下,长时间监控和记录 E84 信号的握手过程,是分析、定位和解决 E84 接口问题的重要工具。


安装步骤

  1. 将设备原来的 DB-25 光学收发器连接器从设备上拔下。

  2. 将数据记录装置上标注“Load Port”的 DB-25 接头插入设备端口。

  3. 再将光学收发器的 DB-25 插头接入记录装置上标注“Optical Transceiver”的接口。

  4. 用串口线连接记录装置与电脑或手持测试器进行配置。

  5. 配置完成后拔掉电脑或手持测试器,装置将立即开始记录所有 E84 交接。

记录可随时通过串口上传,同时也可实时监控信号而不会干扰实际交接过程。


GCI E84 DLD数据记录设备非侵入式检测 E84 接口信号 技术参数

  • 供电:从 E84 接口获取 +24V,功耗约 10mA

  • 串口通讯:RS-232

  • 输入通道:19 路

  • 采样率:500Hz

  • 尺寸:96.5mm × 53.3mm × 20.3mm

  • 接口:DB-25 公头(主动),DB-25 母头(被动)


包装清单

  • 数据记录装置本体

  • 1.8米 DB-9 公对母串口线

  • 使用手册

  • 分析软件安装光盘