代理Get Control三轴加速度计测试工具,振动工具
AMHS和输送机制造商使用三轴加速度计测试工具来量化和确认其系统在开发、安装和维护期间的振动特性。该行业标准工具被200mm和300mm晶圆厂用来测量其物料处理系统对晶圆批料引起的振动。通过检测轨道偏移的早期迹象，系统可以被维护以尽量减少对晶圆批料的振动。 三轴加速度计测试工具可以作为独立单元使用或与GCI信息中心结合使用，以自动记录并提供位置数据，由AMHS车辆提供。
GCI的三轴加速度计测试工具为AMHS供应商和最终用户提供了一种精确的振动测量解决方案。该工具在自动或手动运输过程中同时获取和记录X、Y和Z轴的振动数据。
该三轴加速度计测试工具由电池供电，自给自足。适配板包括用于将工具牢固安装在300mm FOUP内。对于200mm应用，可订购选项安装板，将工具牢固安装在200mm晶圆架内。LCD显示屏和键盘提供配置选项的访问。
机载数据压缩
该Get Control三轴加速度计测试工具实时对每个轴上的512个数据点进行数据压缩。提供几种数据压缩选项，包括RMS、峰值、峰值频率和真RMS。每个轴上的数据压缩在每半秒内进行（使用FFT），每种压缩类型每秒产生两个压缩数据点。记录容量受压缩类型限制（最多两到六小时）。
减少后的数据存储在内部SD卡上。在上传到PC进行分析之前，可以存储多个记录会话。提供RS-232端口，通过InfoCenter桌面应用程序上传数据（联系GCI）。
时域记录选项
该Get Control三轴加速度计测试工具可以选配时域记录 选项，该选项将时域数据记录到安全数字（SD）存储卡中。使用此选项，三轴加速度计测试工具每轴每秒直接记录512个时域数据点到安装的SD卡上。记录容量受限于SD卡可用空间（最多6小时）。数据缩减在PC上通过GCI的VibPlot或InfoCenter Desktop应用程序提供。
VibPlot 分析应用程序
VibPlot 提供了对记录的时间域数据进行频率分析的工具。 VibPlot 复制了 Get Control三轴加速度计测试工具 中的机载数据减少功能，并提供了额外的分析功能，例如三维瀑布图和颜色频谱图。时间域数据可以与减少数据（RMS、峰值、真RMS）和每个半秒间隔的FFT结果一起显示。
信息中心桌面应用程序
该InfoCenter桌面应用程序提供了与VibPlot相同的工具，并且是更新的应用程序，还可以上传和显示车载简化数据集。
功能
轴
- X、Y和Z
测量
- 频率 直流到150赫兹
- 振动 0.03g 到 2.00g (±0.01g)
电池 / 充电器
- 可充电LIMH电池组
- 高级电池充电电路
- 锂电池提供静态 RAM 备份 – 寿命长达 10 年（运行时间）
- 低电量感应和警告指示灯。
数据分析类型
- 均方根
- 峰值
- 均方根和峰值
- 均方根、峰值和频率
- RMS，峰值，频率，真RMS，和N
用户界面
- 2 × 16字符液晶显示屏
- 4键键盘
闪存PROM
- 存储系统固件
- 通过GCI的固件文件轻松升级
内置microSD卡
- 录音室
- 存储容量允许进行数百个单独的时间戳记录会话（具体取决于记录时长）。
RS-232 接口
- 提供一个RS-232接口，用于将记录的数据下载到主机PC。
