美国Get Control E84模拟器300mm晶圆测试仪GCI E84代理

美国Get Control E84模拟器300mm晶圆测试仪GCI E84代理

Get ControlGCI)的 E84 EmulatorE84 仿真测试仪)是全球领先的测试设备,用于开发、实施及认证必须符合 SEMI® E84 标准的产品。它提供业内标准的自动化测试方案,几乎被全球所有 300mm 晶圆厂(FAB)及设备制造商采用。GCI 测试仪是唯一能够保证 300mm 晶圆工厂自动化互操作性的解决方案。

E84 Emulator 提供自动化测试流程,用于测试主动设备(Active)和被动设备(Passive)的并行输入/输出(PI/O)控制信号。SEMI® E84 标准定义了在晶圆制造工厂中,自动物料搬运系统(AMHS)与生产设备之间进行晶圆载具传输时所使用的控制信号。

E84 Emulator 通过标准 USB 接口连接至基于 Microsoft® Windows 的笔记本电脑。E84 Emulator 软件兼容 WinXP、Win7 和 Win10 操作系统。

设备配备图形用户界面(GUI),支持主动模式与被动模式的自动测试和手动测试。
自动测试模式下,可输入测试人员名称、测试日期以及设备信息。自动测试模式提供 20 项主动模式测试和 18 项被动模式测试,用户可单独启用或禁用各项测试。

系统还提供静态测试功能,用于验证每个 Load Port 的 DB-25 接口插头是否存在、标识是否正确以及安装位置是否正确。GUI 可选择显示对应的标签和安装位置示意图。

功能测试包括:

  • 单次交接装载(Single Handoff Load)验证
  • 单次交接卸载(Single Handoff Unload)验证
  • 交接允许(Handoff Available)验证
  • 紧急停止(Emergency Stop)验证
  • 超时(Timeout)验证
  • 被动设备端口传感器验证
  • +24V 电源电压验证

GUI 还可选择显示不同测试项目对应的控制信号时序图。

在自动测试模式下,可选择保存测试方案和测试结果。保存文件包括 ASCII 文本文件及适用于打印的 PDF 文件。文件中包含用户输入的全部设备信息,以及 E84 Emulator 软件生成的各项测试信息。测试详情包括测试标题、测试结果、故障信息以及用户在测试过程中输入的备注。已保存的测试方案还可重新调用,以继续后续测试。

手动测试模式提供菜单界面,允许用户切换并行输出信号状态,同时持续显示并行输入信号状态。

GCI E84 Emulator

E84 Emulator — 兼容 Windows 10 / 11

GCI E84 Emulator 是全球领先的测试设备,用于开发、实施及认证必须符合 SEMI® E84™ 标准的产品。它提供业内标准的自动化测试方案,被全球所有 300mm 晶圆厂(FAB)及设备制造商广泛采用。GCI E84 Emulator 是唯一能够保证 300mm 晶圆工厂自动化互操作性的解决方案。

E84 Emulator 提供自动化测试流程,用于测试主动设备(Active)与被动设备(Passive)的并行输入/输出(PI/O)控制信号。SEMI® E84™ 标准定义了在晶圆制造工厂中,自动物料搬运系统(AMHS)与生产设备之间进行传输时所使用的控制信号。

E84 Emulator 通过 USB 接口连接至基于 Microsoft® Windows 的笔记本电脑或台式电脑。E84 Emulator 软件兼容 Windows XP、Windows 10 和 Windows 11 操作系统。

设备配备图形用户界面(GUI),支持主动模式与被动模式的自动测试和手动测试功能。在自动测试模式下,可输入操作人员名称、测试日期以及设备信息。

主动模式测试套件用于验证工艺设备 E84 接口的运行行为。系统提供 20 项主动模式测试,操作人员可根据需要单独启用或禁用。与此同时,还提供对应的被动模式测试套件,用于测试传输系统(Delivery System)。

主动模式静态测试会要求操作人员确认:

  • 每个 Load Port 是否配备带标签的 DB-25 接口;
  • 是否具备错误恢复(Error Recovery)相关文档。

GUI 还可选择显示所需 DB-25 接口的标签与安装位置示意图。

美国Get Control E84模拟器300mm晶圆测试仪GCI E84代理主动模式功能测试包括:

  • 单次交接装载(Single Handoff Load)循环验证
  • 单次交接卸载(Single Handoff Unload)循环验证

此外,还有多项测试用于验证设备对 Handoff Available 异常情况的正确处理。

系统提供 5 项测试,用于强制触发五种标准 TP 超时错误(Timeout Errors)。
另有 4 项测试用于验证被动设备端口传感器(Port Sensors)的运行状态。

其他测试项目包括:

  • 紧急停止(Emergency Stop)功能验证
  • E84 所需 +24V 电源电压验证

GUI 还可选择显示不同测试项目对应的控制信号时序图(Timing Diagram)。


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