最终解决方案:快速定位并解决 E84 交接失败的信号异常、丢失和故障
这款新一代记录设备是一款小型独立单元,可插入被动设备与 PI/O 收发器之间,以捕获并记录 E84 握手信号至其非易失性存储器。其内部存储容量可保存超过 50 次 FOUP 交接记录。为了扩展记录容量,可以启用内置的诊断过滤功能。启用诊断过滤后,E84 DLD 将忽略正常的交接,仅记录失败的交接数据至内部存储。GCI 行业领先的诊断软件——E84 分析应用程序已包含在该工具中。
300mm 半导体制造的自动化解决方案
工厂自动化广泛应用于 300mm 半导体制造工厂。300mm 工艺设备使用标准的负载端口,并集成 E84 电气接口,以在自动化物料搬运系统(AMHS)之间传输材料。GCI 的 E84 数据记录设备(DLD)是一款紧凑型解决方案,可无干扰地监测和记录与 300mm 材料交接操作相关的 E84 握手信号。结合 GCI 的 E84 分析应用程序,该设备可以在不中断工作流程的情况下,捕获、分析并解决 E84 交接问题。
产品特点
- 直接连接工具与光学收发器之间
- 无需外部电源
- 无干扰感应 E84 接口信号
- 记录超过 50 次交接操作到非易失性存储器
- 对所有记录数据进行时间和日期标记
- 可将记录数据上传至 PC 和 GCI E84 手持测试仪
- 环形存储机制,确保最新的交接数据保留在存储器中
- 在 GCI E84 手持测试仪和 PC 上进行实时信号图形化分析
- 兼容 GCI E84 分析应用程序
- 可选诊断过滤,仅记录失败的交接
- 可选功能:记录首次有效的装载/卸载交接,仅在其后记录失败交接
- 统计记录成功和失败的交接次数
安装简便
- 断开光学收发器的 DB-25 接头,使其从工具的接口位置断开。
- 将 DLD 的 DB-25(标记为“Load Port”)插入工具的 DB-25 接口。
- 将光学收发器的 DB-25 插入 DLD 标记为“Optical Transceiver”的 DB-25 接口。
- 使用串行电缆连接 DLD 与 PC 或 E84 手持测试仪,并配置 DLD。
- 配置完成后,断开 PC 或手持测试仪与 DLD 的连接。
DLD 会立即开始记录所有 E84 事务。可以随时通过 PC 或手持测试仪连接 DLD 的串行端口,上传记录的事务数据。此外,用户还可以在不中断交接操作的情况下,通过 PC 或手持测试仪实时监控信号。
技术规格
- 电源:+24V @ 10mA(从 E84 +24V 电源获取)
- 通信接口:RS-232 串行通信
- 输入通道:19 个
- 采样率:500 Hz
- 设备尺寸:3.8″ × 2.1″ × 0.8″(96.5mm × 53.3mm × 20.3mm)
- 连接端口:DB-25 公头(主动)和 DB-25 母头(被动)
包装内容
- E84 数据记录设备
- 6 英尺(约 1.8 米)DB-9 公对母串行电缆
- 用户手册