GCI E84 仿真器是世界领先的开发、实施和鉴定测试仪 必须符合 SEMI® E84™ 标准的产品。它提供了一个行业标准 全球每个 300 毫米 FAB 和设备制造商都在使用自动化测试计划。GCI E84 仿真器是 唯一保证 300 毫米工厂自动化互作性的解决方案。

E84 仿真器提供用于测试并行输入/输出 （PI/O） 控制信号的自动化程序 主动和被动实体。SEMI® E84™ 定义了 晶圆制造中自动化物料搬运系统 （AMHS） 和生产设备之间的传输 设施。

E84 仿真器通过 USB 连接连接到基于 Microsoft® Windows 的笔记本电脑或台式计算机。 E84 仿真器应用程序与 Windows XP、7 和 10 兼容。

提供图形用户界面 （GUI），支持主动和 被动仿真。在自动测试模式下，为作员名称、测试日期和 设备信息。

主动模式测试套件验证过程设备的 E84 接口的行为。共有 20 个 Active Mode 测试可由作员单独启用或禁用。类似的无源模式测试 套件可用于测试递送系统。

提供有源模式静态测试，要求作员验证是否存在标记的 DB-25 插头 对于每个 loadport，并且该错误恢复文档可用。的标签和位置的图 可以选择性地显示所需的 DB-25 连接器。

提供有源模式功能测试，以验证单个切换负载和卸载周期。多项测试 验证设备是否正确处理 Handoff Available 问题。提供了 5 个测试，每个测试都强制 的 5 个标准 TP 超时错误。四项测试验证无源设备端口的行为 传感器。其他测试验证了紧急停止处理和所需的 E84 +24V 电源电压。时序图 可以选择显示用于各种测试的控制信号。

在自动测试模式下，可以选择保存测试计划和结果。保存的文件包括 ASCII 文本 文件格式进行打印。此文本文件包含作员输入的所有设备信息。 以及 E84 仿真器应用程序提供的有关每个测试的信息。测试详细信息包括 test title、results、failure 消息以及用户在测试期间输入的任何注释。保存的测试计划可能会 也被召回以恢复检测。

手动测试模式提供了一个菜单，允许用户切换并行输出信号的状态 同时持续显示并行输入信号的状态。

自动化主动测试

静态测试

• 标记的 DB-25 母头 E84 插头
• 正确的插头位置
• 记录的恢复程序

功能测试

• 可配置的被动设备定时器
• 满载/空载 +24V
• 单次交接加载顺序
• 单次交接卸载顺序
• 负载交接可用信号测试
• 交接可用顺序
• TP1-5 超时错误
• 访问模式选择
• 端口传感器
• 紧急停止