三轴加速度计测试工具
AMHS 和输送机制造商利用三轴加速度计测试工具来量化和鉴定 系统开发、安装和维护过程中的振动特性。这 200mm 和 300mm FAB 使用行业标准工具测量对晶圆批次引起的振动 他们的物料搬运系统。通过检测轨道不对中的早期迹象，系统可以 以最大限度地减少晶圆批次上引起的振动。三轴加速度计测试工具可以是 用作独立装置或与 GCI 信息中心一起使用，以提供位置数据的自动记录 由 AMHS 车辆提供（配置有 VibCom 无线电时）。
GCI 的三轴加速度计测试工具为 AMHS 供应商和 最终用户。该工具同时采集并记录 X、Y 和 Z 轴上的振动数据 自动或手动运输。
三轴加速度计测试工具由电池供电且自成一体。包括转接板 将工具刚性安装在 300 毫米 FOUP 内。对于 200 mm 应用，可以订购可选的安装板 将工具刚性安装在 200 毫米晶圆支架内。LCD 显示屏和键盘提供配置访问 选项。
板载数据缩减
三轴加速度计测试工具每秒执行 512 个数据点的实时板载数据缩减 在每个轴上。提供了多个数据缩减选项，包括 RMS、Peak、Frequency at Peak 和 True RMS。 板载数据缩减以半秒的间隔执行（使用 FFT），每 每个缩减类型的每个轴 second。录制容量受 microSD 卡可用空间的限制（最长 9 小时）。
减少的数据存储在内部 SD 卡上。在上传到 PC 之前，可以存储多个录制会话 进行分析。提供 RS-232 端口，用于使用 InfoCenter 桌面应用程序上传数据（请联系 GCI）。
时域录制选项
三轴加速度计测试工具可以选择配置时域记录选项，将时域数据记录到内部 microSD 卡中。使用此选项，Tri-Axial Accelerometer （三轴加速度计） 测试工具每秒将 512 个时域数据点/秒直接记录到已安装的 microSD 卡上。 录制容量受 microSD 卡可用空间的限制（最长 9 小时）。数据缩减是 在 PC 上使用 GCI 的 VibPlot 或 InfoCenter Desktop 应用程序提供。
VibPlot 分析应用程序
VibPlot 提供了对记录的时间进行频率分析的工具 domain 数据。VibPlot 复制了三轴加速度计中提供的板载数据缩减 Test Tool 的 API API 中的其他 API API 的 API API 中，还提供了额外的分析功能，例如三个 维度瀑布图和颜色频谱图。时域数据可以是 显示，以及缩减数据（RMS、峰值、真 RMS）和 FFT 的图表 每 1/2 秒间隔的结果。
InfoCenter 桌面应用程序
InfoCenter 桌面应用程序在更新的 应用程序，该应用程序还可以上传和显示板载缩减的数据集。
特征
轴
- X、Y 和 Z
测量
- 频率 DC 至 150Hz
- 振动 0.03g 至 2.00g （±0.01g）
电池/充电器
- 可充电 NIMH 电池组
- 先进的电池充电电路
- 锂电池提供静态 RAM 备份 – 使用寿命长达 10 年（运行时间）
- 带警告指示灯的低电量感应。
数据分析类型
- RMS
- 峰
- RMS 和峰值
- RMS、峰值和频率
- RMS、峰值、频率、真 RMS 和 N
用户界面
- 2 × 16 字符 LCD
- 4 键键盘
Flash PROM
- 存储系统固件
- 使用 GCI 的固件文件轻松升级
内置 microSD 卡
- 存储录制会话
- 存储容量允许数百个（取决于录制长度）单独的带时间戳的录制会话
RS-232 接口
- 提供一个 RS-232 端口，用于将记录的数据下载到主机 PC。
