Fricke und Mallah Microwave 等离子体源 微波等离子体源 5 kW / 915 MHz

Fricke und Mallah Microwave 等离子体源 微波等离子体源

等离子体源 5 kW / 915 MHz
微波等离子体源 5 kW / 915 MHz

规格参数

通用信息

• 功率：5 kW
• 频率：915 MHz

技术数据

• 工作气体：Ar-H₂（氩-氢）
• 电源类型：开关电源（风冷 / 水冷）
• 反应器输出：水冷法兰
• 波导类型：WR975

产品描述
5 kW / 915 MHz 微波等离子体源