FW 6600数字气体流量计
产品种类：流量调节数字气体流量计
产品说明：采用MEMS传感器的流量测量方式
特点 (Features):
适用于空气（Air）、氮气（N2）、氧气（O2）、氩气（Ar）、二氧化碳（CO2）等气体
内置阀门类型
配备流量调节针阀（needle valve）
可输出流量水平监控报警信号
可根据客户要求定制流量测量范围
电源：3.6 ~ 24Vdc（50mA）
应用 (Applications):
半导体设备及研究设备的气体管路
通过自带针阀实现流量精密控制
小型实验室等的公用工程（utility）流量测量
各种计量设备采样管的流量测量与控制
微生物、化学、医药等高纯度流体应用领域
规格参数 (Specifications):
适用气体：空气（Air）、氮气（N2）、氧气（O2）、氩气（Ar）、二氧化碳（CO2）
全量程范围：
Air, N2, O2, Ar: 1,2,5,10,20,50,70 SLPM
CO2: 1,2,5,10,20,40 SLPM精度：±2.0%F.S
重复性：0.5%F.S
操作温度：-10 ~ +55℃
最大压力：1.0MPa
电源供应：3.6 ~ 24Vdc（50mA），锂离子电池ER14250
数字输出：RS485 Modbus半双工
