吹扫式流量计
产品种类：特氟龙流量计 (PFA)
产品说明：接液部件和接口采用PFA材料制造，FW1710系列流量计配备整体流量调节阀。这些超小型单元具有精确且易于控制的流量控制功能，并采用PTFE填料提供特殊的耐化学性。
该流量计的接液部位及接口 (connection) 均由PFA材料制成，并使用PTFE填料，具有卓越的耐化学性，是可用于精密流量控制的半导体用小型流量计。
特点 (Features):
无颗粒析出，无离子污染
PFA管连接结构
流量测量：气体、去离子水 (DI water)、化学品
结构紧凑
所有产品均经过可靠性测试
内置控制阀
提供宽广的流量范围以满足所有要求
使用去离子水进行超声波清洗并在洁净室中进行真空包装
在100级洁净室内组装
无颗粒产生和离子污染
用于PFA管连接的接口结构
可测量气体、DI water、化学品等的流量
紧凑的尺寸
对所有产品进行可靠性测试
配备用于流量调节的针阀 (needle valve)
可根据客户要求定制流量测量范围
使用DI水进行超声波清洗并在洁净室中真空包装
在洁净室内组装
应用 (Applications):
用于半导体旋涂蚀刻设备的微量化学品、去离子水 (DI water) 的测量和控制
用于湿法工艺的半导体设备
用于高纯度化学品和去离子水 (DI Water)
小型实验室的高纯度液体测量
使用高纯度流体的微生物学、化学和医学领域
用于半导体旋涂蚀刻 (spin etching) 设备的微量化学品、DI water 测量及控制
用于湿法工艺 (Wet process) 的半导体设备
用于测量使用高纯度化学品及DI water的仪表的流量
小型实验室等的高纯度流体流量测量
微生物、化学、医药等高纯度流体使用领域
规格参数 (Specifications):
流体：气体、液体（粘度 < 5.0cP）
量程：
水 – 最小 20 CCM / 最大 2 LPM
气体 – 最小 500 CCM / 最大 50 LPM
精度：±3% 满量程 (full scale)
工作压力：最大 3 bar
工作温度：最大 50 ℃
适用流体：气体、液体 (粘度 < 5.0cP)
测量流量：
水 – 最小 20 CCM / 最大 2 LPM
气体 – 最小 500 CCM / 最大 50 LPM
测量误差：±3% 满量程
使用压力：最大 3 bar
使用温度：最大 50 ℃
