产品种类：适用于液体和气体低流量的特氟龙 (Teflon) 流量计
产品说明：接液部件和主体采用PFA或PVC材料，锥形管采用硼硅玻璃结构。是去离子水（DI water）、气体和化学处理过程中最佳的中等尺寸流量计。
接液部件和外观采用PFA或PVC材料，锥形管 (taper tube) 使用硼硅酸盐玻璃，专为适用于各种腐蚀性气体、化学品及去离子水（DI Water）而设计的中等容量流量计。
特点 (Features):
可实现3~10 LPM的中等流量测量
内置控制阀
强耐化学腐蚀性
流量水平传感器报警功能
支持前面板和后面板安装
可根据要求提供宽流量范围
使用去离子水进行超声波清洗并在洁净室中进行真空包装
在100级洁净室内组装
水基准测量，可实现3~10 LPM的中等流量测量
配备用于流量调节的针阀 (needle valve)
优异的耐化学性
可输出流量水平监控报警信号
支持前后面板 (panel) 安装
可根据客户要求定制流量测量范围
使用DI水进行超声波清洗并在洁净室中真空包装
在洁净室内组装
应用 (Applications):
半导体湿法工艺中的去离子水或化学品供应管线
通过内置控制阀进行精确控制
接液部件有多种材料可选，适用于各类气体和液体
半导体湿法工艺 (Wet process) 设备的DI Water、化学品供应管线
流量测量及通过自带针阀进行流量精密控制
流体接口可采用多种材质制造，可不受气体和液体限制通用使用
规格参数 (Specifications):
流体：气体、液体（粘度 < 5.0cP）
量程：
水 – 最小 3 LPM / 最大 10 LPM
气体 – 最小 50 LPM / 最大 200 LPM
精度：± 3% 满量程 (full scale)
最高工作压力：10 Bar
爆破压力：25 Bar
工作温度：0 ~ 50(90)℃
适用流体：气体、液体 (粘度 < 5.0cP)
测量流量：
水 – 最小 3 LPM / 最大 10 LPM
气体 – 最小 50 LPM / 最大 200 LPM
测量误差：± 3% 满量程
最大使用压力：10 Bar (1.0Mpa)
爆破压力：25 Bar
使用温度：0 ~ 50(90)℃
