分类：数字式气体流量计
产品型号：FW 6600
产品类型：带流量调节功能的数字式气体流量计
产品说明：采用MEMS传感器进行流量测量。
特点：
适用于空气、N₂、O₂、Ar、CO₂等气体
内置阀门结构
配备用于流量调节的针阀
支持流量水平监视报警输出
可按客户规格定制流量测量范围
电源：3.6 ~ 24 Vdc（50mA）
应用领域：
半导体设备及研究设备的气体管路
通过自带针阀实现流量精密控制
小型实验室等的公用工程流量测量
各类检测设备采样管路的流量测量与控制
微生物、化学、制药等高纯度流体应用领域
技术规格：
适用气体：空气、N₂、O₂、Ar、CO₂
全量程范围：
空气、N₂、O₂、Ar：1, 2, 5, 10, 20, 50, 70 SLPM
CO₂：1, 2, 5, 10, 20, 40 SLPM精度：±2.0% F.S.
重复性：0.5% F.S.
工作温度：-10 ~ +55℃
最大压力：1.0 MPa
供电电源：3.6 ~ 24 Vdc（50mA），锂离子电池 ER14250
数字输出：RS485 Modbus 半双工
