分类：数字式气体流量计（热式）
产品型号：FW 4600
产品类型：带流量调节功能的数字式气体流量计
产品说明：采用MEMS技术的微量流量调节气体流量计（阀式）。其接触流体部件为SUS316材质，外壳采用铝阳极氧化处理，外观精美，适用于微量流量控制。适用于微量流量级的Air、N2、O2、Ar、He、CO2等气体。
特点：
100% 一对一流量校准
配备用于流量调节的针阀
支持流量水平监视报警输出
可按客户规格定制流量测量范围
应用领域：
半导体设备及研究设备的气体管路
通过自带针阀实现流量精密控制
小型实验室等的公用工程流量测量
各类检测设备采样管路的流量测量与控制
微生物、化学、制药等高纯度流体应用领域
技术规格：
适用流体：气体（N2、Air、O2、Ar、He等）
测量流量：气体
0 – 500 SCCM
0 – 1 LPM
0 – 2 LPM
0 – 5 LPM测量误差：±3% 满量程
使用压力范围：最大 1 MPa (10 kgf/cm²)
使用温度范围：-10 ~ +55℃
