美国Thermionics RCR系列3kW多坩埚旋转电子枪

美国Thermionics RCR系列3kW多坩埚旋转电子枪

美国Thermionics RCR系列3kW多坩埚旋转电子枪提供了增强的光束稳定性和高效的XY扫描，具有完整的坩埚覆盖范围，并可通过单独出售的自动分度器进行自动定位。 美国Thermionics RCR系列3kW多坩埚旋转电子枪技术特征： 真正的XY扫掠，完全覆盖坩埚扫频线圈随电源一起提供增强光束准直插入式发射器模块增强的高稳定性冷却交叉污染屏蔽坚固的设计可选自动索引器

多坩埚电子枪的工作原理与单坩埚源相同，具有以下优点：大量的蒸发剂供应——当每个坩埚都装有相同的源材料时，可以在一个真空循环中蒸发更多的蒸发剂。在一个真空循环中沉积多达八种不同的材料——在单个真空循环中，可以将不同的材料放入每个坩埚中，并以任何顺序沉积。沉积速率与单坩埚模型的沉积速率相同。一次只加热一个坩埚。单丝保持静止，坩埚头通过驱动手柄定位。因此，蒸发总是从真空室中完全相同的位置开始。非活性坩埚通过磁极片与加热的坩埚屏蔽，从而消除了坩埚之间的污染。 3kW多坩埚旋转电子枪主要特征： 高真空兼容 金属和弹性体密封，测量的基础压力：2 x 10-9Torr。 可互换坩埚 主坩埚轮可以从源的顶部移除，而无需完全拆卸源。这种灵活性允许现场升级。 特价商品 所有多坩埚电子枪都可以安装在直径较大的ConFlat或矩形PyraFlat法兰上，单法兰或背对背法兰。 3kW多坩埚旋转电子枪技术参数：

操作电压	为了达到最佳运行效果，最好低于5 x 10-5Torr
光束电压	4,000 V
光束电流	0–750 mA （连续可变）
最大功率	3,000 W
冷却水	1.5 gpm
最大烘烤温度	120°C (150°F)
坩埚体积	2.24 cc x 4, 6, or 8 crucibles

3kW多坩埚旋转电子枪技术特征：安装配置每个e-Gun™都有三种标准安装配置： e-Gun™安装在PyraFlat或ConFlat金属密封型法兰上，该法兰使用标准OFE铜垫片 e-Gun™配备直径为1英寸的螺栓式安装座，通过直径为1”的孔安装，并由压缩O型圈密封 e-Gun™单独使用，无安装法兰请在下单时指定安装配置；成本可能不包括螺栓式或法兰式安装。其他安装法兰、配置和几何形状可联系上海皕赫 3kW多坩埚旋转电子枪主要型号：