Mcallister 探针台，测试探针台，用于无损电气测试的分析或测试

Mcallister 探针台 Mcallister 探针台用于在测试样品的不同位置定位用于无损电气测试的分析或测试探针的各种设备。可用于半导体、材料科学、物理学、光学和MEMS的各种不同尺寸和类型。所有这些都是专门为最终用户的独特访问、范围、温度和测试要求量身定制的。Mcallister 探针台旨在展示MTS定制设计和制造车间的各种可能性。 Mcallister 探针台适用不同样品尺寸： 小样本量–<1英寸（<25毫米） 该站基于约2.75英寸（CF40）法兰，具有以下特点：带隔热罩的加热反应堆容器等温反应器体积单独的样品加热器减少化学反应实验的细胞体积高精度微操作器<0.0005英寸（<12µ）光学显微镜全尺寸观察区紧密耦合涡轮泵的紧凑设计具有坚固的仪器支架和盖子

中等样本尺寸–2英寸（50毫米） 该站基于约8英寸（CF150）法兰，具有以下特点：双壁水冷夹套最多6个探头操纵器从特高压到环境运行在1个大气压下加热至>900℃。氧气大观察区域，便于显微镜观察防止辐射损失的百叶窗隔振表高精度微操作器<0.0001英寸（<2µ）电动舞台可用 LHe可冷却至<18K 用于仪表、入口等的额外端口。

大样本量–6英寸（150毫米） 所示为盖子已拆下完全访问整个晶圆表面 ±3英寸（±765毫米）XY行程 0.5英寸（12.5毫米）Z轴行程计算机运动控制冷却至-40℃ 48个仪器馈通 1000X三目显微镜（未显示）集成多电路探针卡安装单个真空兼容扫描探头真空度达到10-6torr 附加仪器端口高精度定位器<0.0001〃（<2µ）