蒸发源 系列：RCRF

3 kW RCRF 系列杆式电子喷枪™使用直径达 3/8 英寸的棒状蒸发源材料，通过外部线性馈通连续送入坩埚。薄膜厚度可以使用速率监视器进行控制，并且可以安装在各种法兰上。

蒸发源 系列：RCRF

3 kW 杆式电子枪™

3 kW RCRF 系列杆式电子喷枪使用直径达 3/8 英寸的棒状蒸发源材料，通过外部线性馈通连续送入坩埚。薄膜厚度可以使用速率监视器进行控制，并且可以安装在各种法兰上。

兼容 UHV

金属密封，完全兼容 UHV，测量极限压力：2 x 10^-11托。

安装和配置

• 3 kW 杆式 e-Gun 可以在任何方向安装和操作，包括倒置（取决于材料）
• 照片中显示的杆式 e-Gun 可以穿过 2.5 英寸外径的管子
• 提供用于包围 e-Gun 的可选低温护罩
• 多个杆式 e-Gun 可以并排安装
• 可提供定制设计，请咨询工厂

Knudsen 细胞置换

e-Gun 可以蒸发难蒸发的材料，即：碳、铌和硅。 棒式电子喷枪，配有所有必要的公用设施和机械馈通件，安装在 4.5 英寸外径的 ConFlat 安装法兰上，可直接替代 Varian/Intevac、Perkin-Elmer、Riber、EPI 和 VG 系统上现有的克努森电池炉。 请致电讨论您的具体应用要求。

规格

特征	规范
工作压力	低于 5 x 10-5Torr 是最佳操作的理想选择;完全兼容 UHV 的设计
光束电压	4,000 伏
束流	0–750 mA 连续可变
最大功率	3 千瓦 @ 4 kV
冷却水	1/2 加仑/分钟
最大烘烤 温度	230°C （446°F）
馈入要求	两个 7 kV 50 A
坩埚体积	直径为 1/4 英寸或 3/8 英寸的杆
e-Gun 尺寸	2.25 英寸直径 x 2.95 英寸长

安装配置

每个 e-Gun 都提供三种标准安装配置：

• e-Gun 安装在 PyraFlat 或 ConFlat 金属密封型法兰上，使用标准 OFE 铜垫圈
• e-Gun 带有 1 英寸直径的螺栓式安装座，可通过 1 英寸直径的孔安装，并由压缩 O 形圈密封
• 单独使用 e-Gun，无需安装法兰

请在下订单时指定安装配置;成本可能不包括螺栓型或法兰型安装。 通常提供其他安装法兰、配置和几何形状，请致电工厂了解更多信息。

订购信息

型号	描述
RCRF0325	仅限杆式 e-Gun
RCRF0325/SK	杆式 e-Gun，带有所有公用、电气和机械馈入装置