美国 Angstrom Engineering AMOD 物理气相沉积平台

AMOD 物理气相沉积平台

Amod物理气相沉积PVD蒸发器平台

腔室投射距离增大，功能性强

Amod物理气相沉积平台的底板尺寸为 500mm x 500mm，可容纳多达 8 个源和多种 PVD 工艺，并可实现超高真空 (UHV)。根据研究目标、生产需求和/或应用最终目标决定Amod PVD 平台的装备。

沉积源选项

溅射 射频、直流、脉冲直流、HIPIMS 和反应式。可提供圆形、线形和圆柱形阴极。 热蒸发 可使用各种舟形、丝状和坩埚加热器。自动调整功能可确保精确的速率控制。 电子束蒸发 提供多种源功率和电源选项。通过 Aeres 软件平台控制带有配方存储功能的可编程扫频控制器。扭矩感应坩埚分度器可检测坩埚袋堵塞情况。Nexdep 室可容纳多个电子束源。 等离子和离子束处理 使用一系列离子源进行清洗和薄膜增强，包括辉光放电等离子清洗。

基底夹具增强

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美国 Angstrom Engineering AMOD 物理气相沉积平台

每天我们通过设于欧洲、美国、香港、上海的办公室，在世界各地引进成套设备与技术，采购备品备件，将全球工业产品和技术带到中国，为中国客户提供技术咨询，产品应用和售后培训服务。原厂直接采购，一手货源，拼单发货，最低价格，最短交期，让客户进口采购变得省钱、省时、省心。

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业务范围

我们为各行业客户提供专业的进口采购、付汇结算、报关报检、仓储物流的数字化采购解决方案。

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服务优势

行业领先的公司采用我们的平台和服务，通过我们全球多个办事处采购企业发展所需的物资，缩短供应链货期，以提高效率和控制成本。

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