美国 Lattice Electro Optics Excimer Laser Mirrors ArF (193nm) & KrF (248nm) 准分子激光镜ArF（193nm）和KrF（248nm）

 美国 Lattice Electro Optics

Excimer Laser Mirrors ArF (193nm) & KrF (248nm)

准分子激光镜ArF（193nm）和KrF（248nm）

参数

  
材料: VUV CaF2, UV Fused Silica
平行度： < 3 arc min
净孔径： > 85% of central dimension
倒角： 0.3mm ´ 45°
表面形状： l/10 at 632.8nm
表面质量： 20-10 for VUV CaF2 10-5 for UV Fused Silica
能量: Up to 1J/cm2, ArF Up to 4J/cm2, KrF
 
Part No Diameter

Thickness

 A.O.I.
ArF (193nm) KrF (248nm)
RX-193-0-UF-1025 RX-248-0-UF-1025 1.00” 0.250” 0°
RX-193-0-UF-1420 RX-248-0-UF-1420           36.0mm 5.0mm 0°
RX-193-0-UF-1520 RX-248-0-UF-1520 1.50” 5.0mm 0°
RX-193-0-UF-2038 RX-248-0-UF-2038 2.00” 0.375” 0°
RX-193-45-UF-1025 RX-248-45-UC-1025 1.00” 0.250”   45°
RX-193-45-UF-1420 RX-248-45-UC-1420           36.0mm 5.0mm   45°
RX-193-45-UF-1520 RX-248-45-UC-1520 1.50” 5.0mm   45°
RX-193-45-UF-2038 RX-248-45-UC-2038 2.00” 0.375”   45°

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