MASTERBOND,UV15,用于电光波导

MASTERBOND,UV15,用于电光波导 Master Bond UV15已被选用用于制造多种应用的聚合物光学波导。在墨尔本皇家理工大学进行的研究项目中，UV15被用于光学聚合物平板波导的上、下包层。1 在德克萨斯大学奥斯汀分校进行的研究中，UV15形成了设计用于光调制器的波导的下包层。2 荷兰特文特大学的研究人员使用UV15作为核心层制造了多模聚合物波导。3 这三个研究中的波导均采用旋涂技术沉积包层和核心层，光刻技术进行波导图案制作，反应离子刻蚀（RIE）将波导图案转移到核心层。在每项研究中，选择了不同组合的材料（如UV15和一个或两个其他聚合物材料）作为核心层和两个包层，并且根据具体的设计和性能目标调整了制造工艺。满足波导设计标准 UV15非常适合许多聚合物光学波导设计。它在633 nm波长处的折射率为1.48，并且能够良好地粘附硅，硅通常用作波导制造的基底。单组分的UV15易于旋涂，形成平滑均匀的膜层，厚度在波导中使用的范围内（大约5到100 μm）。由于UV15可以耐受光刻中使用的溶剂，因此可以进行图案化和刻蚀，形成带状波导通道。 Download full case study Master Bond UV15已成功用于制造低损耗的电光聚合物波导。通过精确控制旋涂、固化、光刻和刻蚀过程，可以优化UV15及其他用于波导设计的材料的性能，以实现特定的设计目标。由此制造的聚合物波导成本相对较低，并可用于实现各种电光器件。