SC-3 微型谐振扫描镜
特性与优势
在100 Hz至1,000 Hz范围内固定单一工作频率
光学扫描角度高达50°（峰峰值）
反射镜尺寸最大12×7毫米
支持垂直或水平安装
结构紧凑，重量轻盈
低功耗驱动电路
坚固结构，无运动磨损部件
免维护运行
高可靠性设计
耐受冲击与振动
高频稳精度（达0.05%）
支持高低温工作环境¹
适用真空环境（达10⁻¹⁰ Torr）¹
无抖动运行
无电磁干扰辐射
可选配反射镜位置输出信号
标配增强铝膜玻璃反射镜，可选配红外/紫外专用镀膜¹
注1：特殊定制选项
产品选型
SC-3：标准扫描镜，尺寸（英寸）：0.9 x 0.5 x 0.4
SC-3-SH：短版扫描镜，尺寸（英寸）：0.55 x 0.5 x 0.4
SC-3-A：高频扫描镜，尺寸（英寸）：0.55 x 0.5 x 0.4
SC-3-HF：高频小镜面小角度扫描镜，尺寸（英寸）：0.55 x 0.5 x 0.4
描述
SC-3 型超微型固定频率谐振光学扫描镜是当前非MEMS技术领域中尺寸极小的机械式扫描镜。该电磁驱动动镜装置通过连续正弦运动实现光束偏转，反射镜组件固定于张紧的带状弹簧中心。SC-3 型及其短版 SC-3-SH 的扫描频率范围为 100Hz 至 1860Hz，可在该范围内固定任一特定频率。扫描角度与频率成反比，并随反射镜尺寸变化。标准工作温度为 0°C 至 +55°C，支持特殊温度范围及真空环境定制。
高器件 Q 值确保频率稳定性与低驱动功耗，高弯曲刚度带来卓越的抗冲击振动性能、低摆动误差和优异扫描重复性。基于固有频率的谐振特性使其在需要低失真优质成像的众多应用领域中具备长寿命优势，特别适合专用、大批量 OEM 工业场景。SC-3 型扫描镜可轻松集成于小型系统及便携仪器。
扫描镜通过 ED 型正反馈放大器或 AGC 驱动器维持谐振运行，其中 AGC 驱动器可提供更高幅值稳定性（0.01%）及位置输出信号。
典型应用包括：腔内 Q 开关、共聚焦显微镜、癌症诊断、眼科成像、自适应光学、X 射线技术、DNA 测序、脑成像、认知识别检测、牙科、皮肤科、发育生物学、无损检测、肿瘤学、光学相干显微高分辨率成像（OCM）、激光扫描、图像与图案生成识别、高分辨率打印、荧光显微镜、半导体成像、卷材检测、生物医学成像、质量检测、工艺验证、掩模检测、机器视觉以及外太空与环境监测等。
100Hz–1000Hz 范围内固定单频操作（以下参数仅供参考）：
| 型号 | 扫描角(光学峰峰值) | 反射镜尺寸(mm) | 频率(Hz ±10%) |
|---|---|---|---|
| SC-3-2 | 50° | 6 直径 | 250 |
| SC-3-2 | 50° | 7×7 | 180 |
| SC-3-2 | 50° | 12×7 | 110 |
| SC-3-3 | 40° | 6 直径 | 400 |
| SC-3-3 | 40° | 7×7 | 285 |
| SC-3-3 | 40° | 12×7 | 180 |
| SC-3-4 | 30° | 6 直径 | 600 |
| SC-3-4 | 30° | 7×7 | 430 |
| SC-3-4 | 30° | 12×7 | 265 |
| SC-3-5 | 20° | 6 直径 | 830 |
| SC-3-5 | 20° | 7×7 | 600 |
| SC-3-5 | 20° | 12×7 | 385 |
技术规格
扫描镜参数
SC-3 尺寸（英寸）：0.9 x 0.5 x 0.4
SC-3-SH 尺寸（英寸）：0.55 x 0.5 x 0.4
扫描频率范围：100 Hz 至 1000 Hz
频率精度：±10%（25°C 环境，可提供更高精度定制）
扫描角度：最高 50° 光学峰峰值（随频率与镜面尺寸变化）
反射镜参数
尺寸：6mm 直径、7×7mm、12×7mm
厚度：标准 1.0mm（支持其他厚度定制）
面型精度：λ/4（6mm 及 7×7mm 镜）、λ/2（12×7mm 镜）
表面质量：划痕-麻点 60-40
电气参数
驱动线圈电阻：950 欧
感应线圈电阻：950 欧
SC-3-SH 线缆长度：8 英寸
连接器：4 针母座（间距 0.1 英寸），Molex P/N 22-01-3047 或等效型号
订购信息
型号 [SC-3 或 SC-3-SH]；镜面尺寸 [mm]；角度 [光学峰峰值]；频率 [Hz]
示例：部件号 SC3-7×7-20-600，表示 SC-3 扫描镜配置 7×7mm 反射镜，20° 光学峰峰值扫描角，600Hz 工作频率。
