SC-5 小型谐振扫描镜
特性与优势
在100 Hz至2,200 Hz范围内固定单一工作频率
光学扫描角度高达60°（峰峰值）
反射镜尺寸最大15×15毫米
支持垂直或水平安装
结构紧凑，重量轻盈
低功耗驱动电路
坚固结构，无运动磨损部件
免维护运行
高可靠性设计
耐受冲击与振动
高频稳精度（达0.05%）
支持高低温工作环境¹
适用真空环境（达10⁻¹⁰ Torr）¹
无抖动运行
无电磁干扰辐射
可选配反射镜位置输出信号
标配增强铝膜玻璃反射镜，可选配红外/紫外专用镀膜¹
注1：特殊定制选项
产品选型
SC-5：25至1,000 Hz扫描镜
SC-5-HF：1,200至2,200 Hz高频扫描镜
SC-5 型超微型固定频率谐振光学扫描镜是一种电磁驱动动镜装置，通过正弦运动实现光束偏转。反射镜组件固定于扭力弹簧中心，扫描频率范围为 100 Hz 至 1500 Hz，可在该范围内固定任一特定频率。扫描角度与频率成反比，并随反射镜尺寸变化。标准工作温度为 0°C 至 +65°C，支持特殊温度范围及真空环境定制。
高器件 Q 值确保频率稳定性、低反作用力及低驱动功耗，高弯曲刚度带来卓越的抗冲击振动性能、低摆动误差和优异扫描重复性。基于固有频率的谐振特性使其在需要低失真优质成像的众多应用领域中具备长寿命优势，特别适合专用、大批量 OEM 工业场景。SC-5 型扫描镜可轻松集成于小型系统及便携仪器。
谐振运行通过 ED 型反馈放大器或 AGC 驱动器维持（以扫描镜作为频率源），其中 AGC 驱动器可提供更高幅值稳定性（0.01%）及位置输出信号。PLD-1S 驱动器可将扫描镜相位锁定至外部时钟信号；PLD-2S 驱动器可将两个同频扫描镜锁定为李萨如模式（生成圆形/椭圆轨迹）或进行同相/反相锁定；PLD-2SXY 驱动器可同步两个谐振扫描镜构建栅格扫描系统；PLD-XYG 驱动器可将谐振扫描镜（高频）与振镜（低频）同步构建 X,Y 栅格扫描系统。
典型应用包括：图像与图案生成识别、数据采集、共聚焦显微镜、眼底成像、生物医学成像、掩模成像、质量检测及外太空与环境研究等。
支持特殊叶片构型、调制波形与形状定制（需咨询 EOPC），提供多种封装规格、稳压方案和电源选型的驱动电子系统，并为 OEM 应用提供专属价格。
25–2,200 Hz 范围内固定单频操作（以下参数仅供参考）：
SC-5 谐振光学扫描镜
| 扫描角(光学峰峰值) | 反射镜尺寸(mm) | 频率(Hz ±10%) |
|---|---|---|
| 60° | 15×15 | 25-100 |
| 50° | 10×10 | 100-150 |
| 40° | 8×8 | 150-250 |
| 40° | 7×7 | 250-400 |
| 35° | 7×7 | 400-600 |
| 30° | 7×7 | 600-800 |
| 25° | 7×7 | 800-1,000 |
SC-5-HF 高频谐振光学扫描镜
| 扫描角(光学峰峰值) | 反射镜尺寸(mm) | 频率(Hz ±10%) |
|---|---|---|
| 40° | 6直径或6×6 | 1,200 |
| 35° | 6直径或6×6 | 1,500 |
| 30° | 6直径或6×6 | 1,800 |
| 25° | 6直径或6×6 | 2,200 |
技术规格
扫描镜参数
SC-5 尺寸（英寸）：1.00 x 0.63 x 0.46
扫描频率范围：100 Hz 至 1500 Hz
频率精度：±2%（25°C 环境，可提供更高精度定制）
扫描角度：最高 50° 光学峰峰值（随频率与镜面尺寸变化）
反射镜参数
尺寸：最大 10×10mm（随频率变化），支持更大尺寸定制
厚度：标准 1.0mm（支持其他厚度定制）
面型精度：λ/4、λ/2 及 1λ（根据尺寸而定）
表面质量：划痕-麻点 60-40
电气参数
驱动线圈电阻：150 或 400 欧（根据频率而定）
感应线圈电阻：950 欧
连接器：4 针母座（间距 0.1 英寸），Molex P/N 22-01-3047 或等效型号
订购信息
型号 [SC-5]；镜面尺寸 [mm]；角度 [光学峰峰值]；频率 [Hz]
示例：部件号 SC5-15×15-60-90，表示 SC-5 扫描镜配置 15×15mm 反射镜，60° 光学峰峰值扫描角，90Hz 工作频率。
型号 [SC-5-HF]；镜面尺寸 [mm]；角度 [光学峰峰值]；频率 [Hz]
示例：部件号 SC5-HF-6×6-40-1200，表示 SC-5-HF 扫描镜配置 6×6mm 反射镜，40° 光学峰峰值扫描角，1200Hz 工作频率。
