奥地利 KML Linear Motion Technology 单轴解决方案 高速 LMS 最动态的运动 最高的定位精度 系统刚性高 最低的颗粒物排放

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高速直线电机系统设计用作半导体制造机器中的进给轴,以实现卓越的生产率和工艺可靠性。 除了通常的客户要求,如移动质量、行程范围、周期定义等。必须考虑其他特性。例如,这些是: 高速直线电机系统是专门为高定位精度的应用而开发的。它提供了使用定制滑块和底板钻孔模式的可能性,以满足个别要求。此外,该系统采用洁净室兼容设计,可在敏感环境中使用。为了便于初始调试,提供了一组参数,以实现快速高效的调试。  

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