蒸发源 系列：HCF

单坩埚全金属密封高容量 e-Gun™。提供三种标准安装配置：PyraFlat 或 CF 型法兰、1“ 直径螺栓型安装或无安装法兰。

蒸发源 系列：HCF

HCF 系列 6 kW+ 电动喷枪™

HCF 系列 e-Gun™ 是一款单坩埚全金属密封高容量 e-Gun。提供三种标准安装配置：PyraFlat 或 CF 型法兰、1“ 直径螺栓型安装或无安装法兰。

270° 光束偏转

高容量系列 e-Gun 采用成熟的 270° 电子束偏转系统。细丝隐藏在坩埚下方，不在坩埚的视线范围内。这可以防止离子腐蚀，并最大限度地防止杂散颗粒或冷凝物引起的短路。

长寿命发射极组件

270° 电子束偏转设计通过新的和改进的发射器组件得到了增强。

轻松更换灯丝

发射器组件设计使灯丝的拆卸或更换变得快速而简单。细丝对准工具可保持关键的细丝公差，从而实现快速准确的细丝更换。

永磁梁定位

主梁位置由永磁体控制。电磁铁用于精确定位和光束扫描。

兼容 UHV

金属密封，完全兼容 UHV，测量极限压力：2 x 10^-11托。

规格

特征	规格
最大功率	10 千瓦
发射电压	-6 至 -10 kV
发射电流	0 至 1 A
灯丝	700 瓦
电子束偏转	270°
光束光斑尺寸	.25“ 直径，紧密横梁
蒸发速率	1 克/分钟 @ 10 kW，36,000 Å/分钟 铝 @ 10 英寸（250 毫米）光源到基板的距离
X 和 Y 扫描	使用 Thermionics 扫描控制器运行时，纵向和横向控制高达 200 Hz
水	3 gpm，20°C，50 psi 压差
坩埚材料	OFE 铜缆
烘烤温度	230°C （446°F）

安装配置

每个 e-Gun 都提供三种标准安装配置：

1. e-Gun 安装在 PyraFlat 或 ConFlat 金属密封型法兰上，使用标准 OFE 铜垫圈
2. e-Gun 带有 1 英寸直径的螺栓式安装座，可通过 1 英寸直径的孔安装，并由压缩 O 形圈密封
3. 单独使用 e-Gun，无需安装法兰

请在下订单时指定安装配置;成本可能不包括螺栓型或法兰型安装。 通常提供其他安装法兰、配置和几何形状，请致电工厂了解更多信息。

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订购信息

型号	描述
HCF1007	7 cc 单坩埚
HCF1015	15 cc 单坩埚
HCF1025	25 cc 单坩埚
HCF1040	40 cc 单坩埚

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选项

发射器组件

型号	描述
112128-SD	标准
112128-HD	重型
112128-德国	双丝

备件套件

型号	描述
HC/ERK-SD 型	标准
HC/ERK-HD 型	重型
HC/ERK-DE	双丝