
双丝积液池 EF 40C1DF 双丝沉积池 适用于任何 MBE 系统 无钼结构
EF 40C1DF 双丝积液池是具有两个独立操作的细丝的源,在蒸发过程中更加方便。定制插入长度最小 325 mm(其他应要求提供)。 技术规格:
安装法兰 | DN 40CF(可旋转) |
加热器 | W线(钨) |
温度范围 | 250 °C – 1400 °C |
温度稳定性 | ± 0.1°C |
坩埚类型(可选) | PBN, Al2O3、石英(可根据要求提供其他材料) |
坩埚容积 | 5cc(可根据要求提供其他容积) |
蒸发材料 | III-V 组 MBE 所有典型材料(例如镓、镓、铝、硅、铍、铜、银、金、钙2) |
热电偶类型 | C型 |
脱气温度 | 1450 °C |
水冷(必需) | 水流量:> 0.5 升/分钟,温度:15 – 30 °C,最大压力:6 巴 |
插入长度 | 最小 115 mm (其他应要求提供) 外径: 35 mm |
光斑尺寸 | 取决于工作距离 |
工作距离 | 100 – 150 毫米 |
烘烤温度 | 最高 250 °C |
工作压力 | < 10-5毫巴 |
- 双灯丝源操作
- 工作模式:串行、并联、热唇、冷唇
- 极其稳定的通量速率
- 各种坩埚材料
- 高度可重复且可靠
- 适用于任何 MBE 系统
- 无钼结构(允许高释气温度)
- 一体式水冷
- C型热电偶
- 定制插入长度
- 带或不带集成手动/电动气动快门
- 线性移位
- 坩埚
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