TREK, INC. PG201 非接触式静电分布半自动化量测系统
行 程：150mmx150mm
解析度：0.5um
精 度：+/-7um
重复性：+/-4um
探头手调行程：+/-10mm
TREK, INC. PG201 非接触式静电分布半自动化量测系统
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