美国 Logosol LPA 系列晶圆预对准机，采用超低惯性无刷电机驱动
LPA 系列晶圆预对准机
产品概述
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创新、高性能，兼容 Class 1 洁净室环境
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独特的一体化设计，无需外部控制器和互联电缆，同时保持即插即用兼容性
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扫描电子器件、运动控制器和电源全部集成于行业标准尺寸的占用空间内
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采用超低惯性无刷电机驱动，实现平滑、即时响应
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先进的扫描电子器件能够检测透明、半透明和不透明物体，无需在不同尺寸之间进行机械 repositioning（重新定位）
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与晶圆搬运机器人无缝接口，支持从 45mm 至 480mm 的所有晶圆尺寸及相应尺寸的方形基板
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Logosol 控制软件提供全面的命令集，确保与各种半导体平台的兼容性和接口能力
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快速对准周期时间有助于实现最大系统吞吐量
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可作为独立设备和嵌入式设备提供，与晶圆搬运机器人协同工作
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晶圆保持选项包括真空吸附、非真空吸附和边缘抓取
规格参数
| 参数 | 独立式 (Standalone) | 嵌入式 (Embedded) | 边缘抓取 (Edge Handling) |
|---|---|---|---|
| 型号 | 26-3 / 38-3 / 58-3 / 312-3 / 812-3 / 1218-3 | 25-1E / 38-1E / 58-1E / 312-1E / 812-1E / 1218-1E | 类型：4EH, 45EH, 5EH, 56EH, 6EH, 8EH, 8ET, 12ET |
| 晶圆直径支持 | |||
| 2英寸 (50mm) | ✓ | ✓ | ✓ |
| 3英寸 (75mm) | ✓ | ✓ | ✓ |
| 100mm | ✓ | ✓ | ✓ |
| 125mm | ✓ | ✓ | ✓ |
| 150mm | ✓ | ✓ | ✓ |
| 200mm | ✓ | ✓ | ✓ |
| 300mm | ✓ | ✓ | ✓ |
| 方形基板 | ✓ | ✓ | ✓ |
| 角度精度 (3σ) | |||
| 10000 CPR 编码器 | 0.04° | N/A | 0.06° |
| 24000 CPR 编码器 | 0.02° | N/A | 0.04° |
| 对中精度 (3σ) | 25µm | 50µm | |
| 最大初始偏移 | 10mm / 12mm / 9mm / 10mm | 1.7mm ~ 2.0mm | |
| 本体尺寸 | |||
| 宽度 (W) | 173mm | 95mm | |
| 长度 (L) | 267mm / 317mm / 404mm | 266mm / 328mm | |
| 高度 (H) | 190mm | 191mm | |
| 重量 | 5.0kg ~ 5.7kg | 3.4kg ~ 3.8kg | |
| 伺服轴数 | 三轴 | 单轴 | |
| 晶圆保持方式 | 真空吸盘 + 顶针 | 真空吸盘 | |
| 设施要求 | 100-240VAC，50/60Hz，48VA 或 24VDC/2A；真空保持方式需 12" Hg 真空 | ||
| 主机接口 | RS232，以太网 (Ethernet) | ||
| 平边/缺口兼容性 | 符合 SEMI 标准 | ||
| 晶圆透光性 | 透明、半透明、不透明 | ||
| 洁净度等级 | Class 1 | ||
| MTBF（平均无故障时间） | > 70,000 小时 |
型号命名说明
| 型号 | 说明 | |
|---|---|---|
| 独立式 (Standalone) | 26-3 / 38-3 / 58-3 / 312-3 / 812-3 / 1218-3 | 完整独立的预对准设备，内置控制器和电源 |
| 嵌入式 (Embedded) | 25-1E / 38-1E / 58-1E / 312-1E / 812-1E / 1218-1E | 嵌入机器人或设备内部，与主机协同工作 |
| 边缘抓取 (Edge Handling) | 4EH / 45EH / 5EH / 56EH / 6EH / 8EH / 8ET / 12ET | 通过边缘接触方式抓取晶圆，避免接触晶圆正面 |
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