蒸发源 系列：RCF

这种研究能力 RCF 系列单坩埚 e-Gun™ 提供了增强的光束稳定性和高效的 XY 扫描，并完全覆盖了坩埚。随附的插入式发射器和扫频线圈组件使 e-Gun 源更易于维修。

蒸发源 系列：RCF

3 kW 单坩埚电子喷枪™

热离子研究能力RCF 系列单坩埚电子枪™提供增强的光束稳定性和高效的 XY 扫描，并完全覆盖坩埚。随附的插入式发射器和扫频线圈组件使 e-Gun 源更易于维修。

特征

• 真正的 XY 清扫，坩埚完全覆盖
• 源附带的扫频线圈
• 增强的光束准直
• 插件发射器模块
• 增强的高稳定性冷却
• 交叉污染屏蔽
• 坚固的设计

规格：

特征	规格
经营	低于 5 x 10-5Torr 是最佳操作的理想选择
光束电压	4,000 伏直流电
束流	0–750 mA 连续可变
最大功率	3 千瓦
冷却水	1.5 加仑/分钟
压差	最小 25 psi
最大烘烤 温度	230°C （446°F）
坩埚体积	2.24 毫升

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安装配置

每个 e-Gun 都提供三种标准安装配置：

• e-Gun 安装在 PyraFlat 或 ConFlat 金属密封型法兰上，使用标准 OFE 铜垫圈
• e-Gun 带有 1 英寸直径的螺栓式安装座，可通过 1 英寸直径的孔安装，并由压缩 O 形圈密封
• 单独使用 e-Gun，无需安装法兰

请在下订单时指定安装配置;成本可能不包括螺栓型或法兰型安装。 通常提供其他安装法兰、配置和几何形状，请致电工厂了解更多信息。

订购信息

型号	描述
RCF0301	带扫掠线圈的单坩埚 e-Gun 源